Semicera'sFo-strat alùmanum plèana M neo-polar 10x10mmair a dhealbhadh gu faiceallach gus coinneachadh ri riatanasan mionaideach thagraidhean optoelectronic adhartach. Tha an t-substrate seo a’ nochdadh stiùireadh plèana M-neo-polar, a tha deatamach airson buaidhean polarachaidh a lughdachadh ann an innealan leithid LEDs agus diodes laser, a ’leantainn gu coileanadh agus èifeachdas nas fheàrr.
Tha anFo-strat alùmanum plèana M neo-polar 10x10mmair a chiùradh le càileachd criostal sònraichte, a’ dèanamh cinnteach à dùmhlachd uireasbhaidhean as lugha agus ionracas structarail nas fheàrr. Tha seo ga dhèanamh na dheagh roghainn airson fàs epitaxial de fhilmichean III-nitride àrd-inbhe, a tha riatanach airson leasachadh innealan optoelectronic an ath ghinealach.
Tha innleadaireachd mionaideachd Semicera a’ dèanamh cinnteach gu bheil gachFo-strat alùmanum plèana M neo-polar 10x10mma’ tabhann tiugh cunbhalach agus rèidh uachdar, a tha deatamach airson tasgadh film èideadh agus saothrachadh innealan. A bharrachd air an sin, tha meud teann an t-substrate ga dhèanamh freagarrach airson an dà chuid àrainneachdan rannsachaidh agus cinneasachaidh, a’ ceadachadh cleachdadh sùbailte ann an grunn thagraidhean. Leis an t-seasmhachd teirmeach is ceimigeach sàr-mhath aige, tha an t-substrate seo na bhunait earbsach airson leasachadh teicneòlasan optoelectronic ùr-nodha.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5 m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
