Tha na substrates wafer snasta dà-thaobh aig Semicera's 4 Inch High Purity Semicera (HPSI) air an dealbhadh gus coinneachadh ri fìor iarrtasan a’ ghnìomhachais semiconductor. Tha na fo-stratan sin air an dealbhadh le rèidh agus purrachd air leth, a’ tabhann an àrd-ùrlar as fheàrr airson innealan dealanach ùr-nodha.
Tha na wafers HPSI SiC seo air an comharrachadh leis an giùlan teirmeach adhartach agus na feartan insulation dealain aca, gan dèanamh nan deagh roghainn airson tagraidhean àrd-tricead agus àrd-chumhachd. Tha am pròiseas snasadh dà-thaobh a’ dèanamh cinnteach à glè bheag de garbh uachdar, a tha deatamach airson coileanadh inneal agus fad-beatha àrdachadh.
Bidh fìor-ghlanachd wafers SiC Semicera a’ lughdachadh uireasbhaidhean agus neo-chunbhalachd, a’ leantainn gu ìrean toraidh nas àirde agus earbsachd innealan. Tha na fo-stratan sin freagarrach airson raon farsaing de thagraidhean, a’ toirt a-steach innealan microwave, electronics cumhachd, agus teicneòlasan LED, far a bheil cruinneas agus seasmhachd riatanach.
Le fòcas air ùr-ghnàthachadh agus càileachd, bidh Semicera a’ cleachdadh dhòighean saothrachaidh adhartach gus wafers a dhèanamh a choinnicheas ri riatanasan teann electronics an latha an-diugh. Chan e a-mhàin gu bheil an snasadh le dà thaobh a’ leasachadh an neart meacanaigeach ach cuideachd a’ comasachadh amalachadh nas fheàrr le stuthan semiconductor eile.
Le bhith a’ taghadh 4 Inch High Purity Semi-Insulating HPSI SiC Substrates Wafer Polished le taobh dùbailte, faodaidh luchd-saothrachaidh na buannachdan bho riaghladh teirmeach leasaichte agus insulation dealain a luathachadh, a’ fuasgladh na slighe airson leasachadh innealan dealanach nas èifeachdaiche agus nas cumhachdaiche. Tha Semicera a’ leantainn air adhart a’ stiùireadh a’ ghnìomhachais le dealas a thaobh càileachd agus adhartas teicneòlach.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5 m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
