Seòrsa N substrate SiC 4 òirleach

Ìomhaigh sònraichte de sheòrsa N le substrate 4 òirleach SiC

Tuairisgeul goirid:

Tha Semicera a’ tabhann raon farsaing de wafers SiC 4H-8H. Airson grunn bhliadhnaichean, tha sinn air a bhith nar saothraiche agus na sholaraiche de thoraidhean dha na gnìomhachasan semiconductor agus photovoltaic. Tha na prìomh thoraidhean againn a’ toirt a-steach: truinnsearan etch silicon carbide, luchd-tarraing bàta carbide silicon, bàtaichean wafer carbide silicon (PV & Semiconductor), tiùban fùirneis carbide silicon, pleadhagan cantilever carbide silicon, chucks carbide silicon, sailean carbide silicon, a bharrachd air còmhdach CVD SiC agus còmhdach TaC. A’ còmhdach a’ mhòr-chuid de mhargaidhean Eòrpach is Ameireagaidh. Tha sinn a’ coimhead air adhart ri bhith nad chom-pàirtiche fad-ùine ann an Sìona.

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha leud beàrn bann mòr aig stuth criostail singilte silicon carbide (SiC) (~ Si 3 tursan), giùlan teirmeach àrd (~ Si 3.3 uair no GaAs 10 tursan), ìre imrich sùghaidh dealanach àrd (~ Si 2.5 uair), briseadh sìos dealain raon (~ Si 10 tursan no GaAs 5 tursan) agus feartan sònraichte eile.

Faodaidh lùth Semicera substrate carbide silicon àrd-ghiùlan (giùlain), leth-insulation (leth-insulation), HPSI (High Purity semi-insulation) a thoirt do luchd-ceannach; A bharrachd air an sin, is urrainn dhuinn bileagan epitaxial silicon carbide homogeneous agus heterogeneous a thoirt do luchd-ceannach; Faodaidh sinn cuideachd an duilleag epitaxial a ghnàthachadh a rèir feumalachdan sònraichte luchd-ceannach, agus chan eil meud òrdugh as ìsle ann.

Nithean	Riochdachadh	Rannsachadh	Dummy
Paramadairean criostal
Polytype	4H
Mearachd treòrachadh uachdar	<11-20>4±0.15°
Paramadairean dealain
Dopant	n-seòrsa Nitrigin
Resistivity	0.015-0.025ohm·cm
Paramadairean meacanaigeach
Trast-thomhas	99.5 - 100mm
Tigheadas	350±25 m
Prìomh stiùireadh còmhnard	[1-100]±5°
Prìomh fhad còmhnard	32.5±1.5mm
Suidheachadh còmhnard àrd-sgoile	90 ° CW bhon phrìomh flat ± 5 °. silicon aghaidh suas
Fad còmhnard àrd-sgoile	18±1.5mm
TBh	≤5m	≤10m	≤20m
LTV	≤2 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	NA
Bogha	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Warp	≤20m	≤45m	≤50m
Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Structar
Dùmhlachd micropìoba	≤1 ea/cm2	≤5 ea/cm2	≤10 ea/cm2
Neo-dhìomhaireachd meatailt	≤5E10atoms/cm2		NA
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	NA
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	NA
Càileachd aghaidh
Aghaidh	Si
Crìoch air uachdar	Si-aghaidh CMP
Pàirtean	≤60ea / wafer (meud≥0.3μm)	NA
sgrìoban	≤2ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas	Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas	NA
Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh	Chan eil gin		NA
Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex	Chan eil gin		NA
Sgìrean polytype	Chan eil gin	Raon cruinnichte≤20%	Raon cruinnichte≤30%
Comharrachadh laser aghaidh	Chan eil gin
Càileachd air ais
Crìoch air ais	C-aghaidh CMP
sgrìoban	≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas	NA
Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent)	Chan eil gin
Cùl garbh	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Comharrachadh laser cùil	1 mm (bhon oir as àirde)
Oir
Oir	Chamfer
Pacadh
Pacadh	Tha am poca a-staigh air a lìonadh le naitridean agus tha am baga a-muigh falamh. Cassette ioma-wafer, epi-deiseil.
* Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD.