Tha SiC Wafer 6 Inch N-seòrsa Semicera aig fìor thoiseach teicneòlas semiconductor. Air a chiùradh airson an coileanadh as fheàrr, tha an wafer seo air leth math ann an tagraidhean àrd-chumhachd, àrd-tricead agus teòthachd àrd, a tha riatanach airson innealan dealanach adhartach.
Tha an wafer SiC 6 Inch N-seòrsa againn a’ nochdadh gluasad àrd dealanach agus seasmhachd ìosal, a tha nam paramadairean riatanach airson innealan cumhachd leithid MOSFETs, diodes, agus co-phàirtean eile. Bidh na togalaichean sin a’ dèanamh cinnteach à tionndadh lùth èifeachdach agus gineadh teas nas lugha, ag àrdachadh coileanadh agus beatha shiostaman dealanach.
Tha pròiseasan smachd càileachd teann Semicera a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach wafer SiC a’ cumail suas rèidh uachdar sàr-mhath agus glè bheag de lochdan. Tha an aire mhionaideach seo gu mion-fhiosrachadh a’ dèanamh cinnteach gu bheil na wafers againn a’ coinneachadh ri riatanasan teann ghnìomhachasan leithid càraichean, aerospace agus tele-chonaltradh.
A bharrachd air na feartan dealain adhartach aige, tha an wafer SiC de sheòrsa N a’ tabhann seasmhachd teirmeach làidir agus an aghaidh teòthachd àrd, ga dhèanamh air leth freagarrach airson àrainneachdan far am faodadh stuthan àbhaisteach fàiligeadh. Tha an comas seo gu sònraichte luachmhor ann an tagraidhean anns a bheil gnìomhachd àrd-tricead agus àrd-chumhachd.
Le bhith a’ taghadh SiC Wafer 6 Inch N-seòrsa aig Semicera, tha thu a’ tasgadh ann an toradh a tha a’ riochdachadh mullach ùr-ghnàthachadh semiconductor. Tha sinn dealasach a thaobh a bhith a’ toirt seachad na blocaichean togail airson innealan ùr-nodha, a’ dèanamh cinnteach gu bheil cothrom aig ar com-pàirtichean ann an diofar ghnìomhachasan air na stuthan as fheàrr airson an adhartas teicneòlais.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5 m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
