leth-thalamha' toirt a-steach anWafer Epi GaN-on-Si Àrd-chumhachd 850V, adhartas ann an ùr-ghnàthachadh semiconductor. Bidh an wafer epi adhartach seo a’ cothlamadh àrd-èifeachdas Gallium Nitride (GaN) le cosg-èifeachdas Silicon (Si), a’ cruthachadh fuasgladh cumhachdach airson tagraidhean àrd-bholtaid.
Prìomh fheartan:
•Làimhseachadh Voltage Àrd: Air a innleachadh gus taic a thoirt do suas ri 850V, tha an GaN-on-Si Epi Wafer seo air leth freagarrach airson a bhith ag iarraidh electronics cumhachd, a’ comasachadh èifeachdas agus coileanadh nas àirde.
•Dùmhlachd Cumhachd Leasaichte: Le gluasad dealanach nas fheàrr agus giùlan teirmeach, tha teicneòlas GaN a 'ceadachadh dealbhadh teann agus barrachd dùmhlachd cumhachd.
•Fuasgladh cosg-èifeachdach: Le bhith a’ faighinn buannachd bho silicon mar an t-substrate, tha an epi wafer seo a ’tabhann roghainn eile a tha èifeachdach a thaobh cosgais an àite wafers traidiseanta GaN, gun a bhith a’ toirt buaidh air càileachd no coileanadh.
•Raon tagraidh farsaing: Fìor mhath airson a chleachdadh ann an luchd-tionndaidh cumhachd, amplifiers RF, agus innealan dealanach àrd-chumhachd eile, a ’dèanamh cinnteach à earbsachd agus seasmhachd.
Dèan sgrùdadh air na tha an dàn do theicneòlas àrd-bholtaid le Semicera'sWafer Epi GaN-on-Si Àrd-chumhachd 850V. Air a dhealbhadh airson tagraidhean ùr-nodha, bidh an toradh seo a’ dèanamh cinnteach gu bheil na h-innealan dealanach agad ag obair leis an èifeachdas agus an earbsa as motha. Tagh Semicera airson na feumalachdan semiconductor an ath ghinealach agad.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
