leth-thalamhgu pròiseil a’ tabhannGa2O3Epitaxy, fuasgladh ùr-nodha a chaidh a dhealbhadh gus crìochan electronics cumhachd agus optoelectronics a phutadh. Tha an teicneòlas epitaxial adhartach seo a’ faighinn buannachd bho fheartan sònraichte Gallium Oxide (Ga2O3) gus coileanadh nas fheàrr a lìbhrigeadh ann an tagraidhean dùbhlanach.
Prìomh fheartan:
• Còmhlan-ciùil air leth farsaing: Ga2O3Epitaxya ’nochdadh bann-leathann ultra-leathann, a’ ceadachadh bholtachd briseadh sìos nas àirde agus obrachadh èifeachdach ann an àrainneachdan àrd-chumhachd.
•Giùlan teirmeach àrd: Tha an còmhdach epitaxial a ’toirt seachad giùlan teirmeach sàr-mhath, a’ dèanamh cinnteach à obrachadh seasmhach eadhon fo chumhachan àrd-teòthachd, ga dhèanamh air leth freagarrach airson innealan àrd-tricead.
•Càileachd stuthan sàr-mhath: Faigh càileachd criostail àrd le glè bheag de lochdan, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh inneal as fheàrr agus fad-beatha, gu sònraichte ann an tagraidhean èiginneach leithid transistors cumhachd agus lorgairean UV.
•Iom-fhillteachd ann an Tagraidhean: Gu math freagarrach airson electronics cumhachd, tagraidhean RF, agus optoelectronics, a’ toirt seachad bunait earbsach airson innealan semiconductor an ath ghinealach.
Faigh a-mach na comasan a th’ aigGa2O3Epitaxyle fuasglaidhean ùr-ghnàthach Semicera. Tha na toraidhean epitaxial againn air an dealbhadh gus coinneachadh ris na h-ìrean càileachd is coileanaidh as àirde, a’ toirt cothrom do na h-innealan agad obrachadh leis an èifeachdas agus an earbsa as àirde. Tagh Semicera airson teicneòlas semiconductor ùr-nodha.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
