GaN Epitaxy

Tuairisgeul goirid:

Tha GaN Epitaxy na chlach-oisinn ann an cinneasachadh innealan semiconductor àrd-choileanadh, a’ tabhann èifeachdas air leth, seasmhachd teirmeach, agus earbsachd. Tha fuasglaidhean GaN Epitaxy aig Semicera air an dealbhadh gus coinneachadh ri iarrtasan thagraidhean ùr-nodha, a’ dèanamh cinnteach à càileachd agus cunbhalachd nas fheàrr anns gach ìre.


Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

leth-thalamhgu pròiseil a’ taisbeanadh a cheann-uidheGaN Epitaxyseirbheisean, air an dealbhadh gus coinneachadh ri feumalachdan a tha a’ sìor atharrachadh sa ghnìomhachas semiconductor. Tha Gallium nitride (GaN) na stuth a tha ainmeil airson a fheartan sònraichte, agus tha na pròiseasan fàis epitaxial againn a’ dèanamh cinnteach gu bheil na buannachdan sin air an làn choileanadh anns na h-innealan agad.

Sreathan GaN Àrd-choileanadh leth-thalamha 'speisealachadh ann an dèanamh de chàileachd àrdGaN Epitaxysreathan, a’ tabhann purrachd stuthan gun choimeas agus ionracas structarail. Tha na sreathan sin deatamach airson grunn thagraidhean, bho electronics cumhachd gu optoelectronics, far a bheil coileanadh nas fheàrr agus earbsachd riatanach. Tha na dòighean fàis mionaideach againn a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach còmhdach GaN a’ coinneachadh ris na h-inbhean mionaideach a tha riatanach airson innealan ùr-nodha.

Optimated airson ÈifeachdasTha anGaN Epitaxyair a thoirt seachad le Semicera air a innleachadh gu sònraichte gus èifeachdas do phàirtean dealanach àrdachadh. Le bhith a’ lìbhrigeadh sreathan GaN le lochdan ìosal, fìor-ghlan, bidh sinn a’ toirt comas do dh’ innealan obrachadh aig triceadan is bholtaids nas àirde, le call cumhachd nas lugha. Tha an optimization seo deatamach airson tagraidhean leithid transistors àrd-ghluasadach dealanach (HEMTs) agus diodes sgaoileadh solais (LEDs), far a bheil èifeachdas air leth cudromach.

Comas tagraidh ioma-chruthach leth-thalamh'sGaN Epitaxytha e ioma-chruthach, a’ frithealadh air raon farsaing de ghnìomhachasan agus thagraidhean. Co-dhiù a tha thu a’ leasachadh amplifiers cumhachd, co-phàirtean RF, no diodes laser, tha na sreathan epitaxial GaN againn a’ toirt seachad a ’bhun-stèidh a dh’ fheumar airson innealan àrd-choileanaidh, earbsach. Faodar ar pròiseas a dhealbhadh gus coinneachadh ri riatanasan sònraichte, a ’dèanamh cinnteach gu bheil na toraidhean agad a’ coileanadh na toraidhean as fheàrr.

Dealas a thaobh CàileachdTha càileachd na chlach-oisinn deleth-thalamh's an t-slighe guGaN Epitaxy. Bidh sinn a’ cleachdadh teicneòlasan fàis epitaxial adhartach agus ceumannan smachd càileachd teann gus sreathan GaN a thoirt gu buil a tha a’ nochdadh sàr èideadh, dùmhlachd easbhaidh ìosal, agus feartan stuthan adhartach. Tha an dealas seo airson càileachd a’ dèanamh cinnteach gu bheil na h-innealan agad chan ann a-mhàin a’ coinneachadh ach a’ dol thairis air ìrean gnìomhachais.

Teicneòlasan fàs ùr-nodha leth-thalamha tha air thoiseach ann an ùr-ghnàthachadh ann an raon naGaN Epitaxy. Bidh an sgioba againn an-còmhnaidh a’ sgrùdadh dhòighean agus theicneòlasan ùra gus am pròiseas fàis a leasachadh, a’ lìbhrigeadh sreathan GaN le feartan dealain is teirmeach leasaichte. Bidh na h-innleachdan sin ag eadar-theangachadh gu innealan a tha a’ coileanadh nas fheàrr, comasach air coinneachadh ri iarrtasan thagraidhean an ath ghinealach.

Fuasglaidhean gnàthaichte airson do phròiseactanAg aithneachadh gu bheil riatanasan sònraichte aig gach pròiseact,leth-thalamhtairgsean gnàthaichteGaN Epitaxyfuasglaidhean. Co-dhiù a tha feum agad air pròifilean dopaidh sònraichte, tiugh còmhdach, no crìochnachadh uachdar, bidh sinn ag obair gu dlùth còmhla riut gus pròiseas a leasachadh a choinnicheas ris na dearbh fheumalachdan agad. Is e an t-amas againn sreathan GaN a thoirt dhut a tha air an innleachadh gu mionaideach gus taic a thoirt do choileanadh agus earbsachd an inneal agad.

Nithean

Riochdachadh

Rannsachadh

Dummy

Paramadairean criostal

Polytype

4H

Mearachd treòrachadh uachdar

<11-20>4±0.15°

Paramadairean dealain

Dopant

n-seòrsa Nitrigin

Resistivity

0.015-0.025ohm·cm

Paramadairean meacanaigeach

Trast-thomhas

150.0±0.2mm

Tigheadas

350±25 m

Prìomh stiùireadh còmhnard

[1-100]±5°

Prìomh fhad còmhnard

47.5±1.5mm

Flat àrd-sgoile

Chan eil gin

TBh

≤5m

≤10m

≤15 m

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Bogha

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35m

≤45m

≤55m

Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structar

Dùmhlachd micropìoba

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Neo-dhìomhaireachd meatailt

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Càileachd aghaidh

Aghaidh

Si

Crìoch air uachdar

Si-aghaidh CMP

Pàirtean

≤60ea / wafer (meud≥0.3μm)

NA

sgrìoban

≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas

Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas

NA

Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh

Chan eil gin

NA

Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex

Chan eil gin

Sgìrean polytype

Chan eil gin

Raon cruinnichte≤20%

Raon cruinnichte≤30%

Comharrachadh laser aghaidh

Chan eil gin

Càileachd air ais

Crìoch air ais

C-aghaidh CMP

sgrìoban

≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas

NA

Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent)

Chan eil gin

Cùl garbh

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Comharrachadh laser cùil

1 mm (bhon oir as àirde)

Oir

Oir

Chamfer

Pacadh

Pacadh

Epi-deiseil le pacadh falamh

Pacadh cassette ioma-wafer

* Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD.

tech_1_2_meud
wafers SiC

  • Roimhe:
  • Air adhart: