Àrd Purity SemiceraPaddle Silicon Carbideair innleachadh gu faiceallach gus coinneachadh ri iarrtasan teann pròiseasan saothrachaidh semiconductor an latha an-diugh. SeoSiC Cantilever Paddleair leth math ann an àrainneachdan àrd-teòthachd, a’ tabhann seasmhachd teirmeach gun choimeas agus seasmhachd meacanaigeach. Tha structar SiC Cantilever air a thogail gus seasamh ri fìor shuidheachaidhean, a’ dèanamh cinnteach gu bheil làimhseachadh wafer earbsach air feadh diofar phròiseasan.
Aon de na prìomh innleachdan aSiC Paddlean dealbhadh aotrom ach làidir aige, a leigeas le amalachadh furasta a-steach do na siostaman a th’ ann mar-thà. Tha an giùlan teirmeach àrd aige a’ cuideachadh le bhith a’ cumail seasmhachd wafer aig ìrean èiginneach leithid sgrìobadh agus tasgadh, a’ lughdachadh cunnart milleadh wafer agus a’ dèanamh cinnteach à toradh cinneasachaidh nas àirde. Tha cleachdadh carbide silicon àrd-dùmhlachd ann an togail pleadhaig a’ cur ris an aghaidh caitheamh is deòir, a’ toirt seachad beatha obrachaidh leudaichte agus a’ lughdachadh an fheum air ath-chuiridhean tric.
Tha Semicera a’ cur cuideam làidir air ùr-ghnàthachadh, a’ lìbhrigeadh aSiC Cantilever Paddlea tha chan ann a-mhàin a’ coinneachadh ach a’ dol thairis air ìrean gnìomhachais. Tha am pleadhag seo air a bharrrachadh airson a chleachdadh ann an grunn thagraidhean leth-chonnsair, bho thasgadh gu etching, far a bheil mionaideachd agus earbsachd deatamach. Le bhith ag aonachadh an teicneòlas ùr-nodha seo, faodaidh luchd-saothrachaidh a bhith a’ dùileachadh èifeachdas nas fheàrr, cosgaisean cumail suas nas ìsle, agus càileachd toraidh cunbhalach.
Feartan fiosaigeach ath-chriostalachadh Silicon Carbide | |
Seilbh | Luach àbhaisteach |
Teòthachd obrach (°C) | 1600 ° C (le ocsaidean), 1700 ° C (a 'lùghdachadh àrainneachd) |
Susbaint SiC | > 99.96% |
Susbaint Si saor an asgaidh | < 0.1% |
Meud dùmhlachd | 2.60-2.70 g / cm3 |
Porosity follaiseach | < 16% |
Neart teannachaidh | > 600 mpa |
Neart cromadh fuar | 80-90 mpa (20 ° C) |
Neart cromadh teth | 90-100 mpa (1400 ° C) |
Leudachadh teirmeach @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
Giùlan teirmeach @ 1200 ° C | 23 W/m•K |
Modal elastic | 240 GPa |
Frith-aghaidh clisgeadh teirmeach | Air leth math |