Bàta grafait Isostatic PECVD

Tuairisgeul goirid:

Tha bàta grafait Isostatic PECVD air a chleachdadh gu farsaing ann an diofar cheanglaichean de saothrachadh semiconductor, leithid tasgadh film polysilicon, tasgadh film ogsaid, tasgadh film nitride, msaa.

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha bàta grafait isostatic PECVD SEMICERA na thoradh grafait àrd-ghlan, àrd-dùmhlachd a chaidh a dhealbhadh airson taic wafer ann am pròiseas PECVD (tasgadh bhalbhaichean ceimigeach leasaichte plasma). Bidh SEMICERA a’ cleachdadh teicneòlas brùthaidh isostatic adhartach gus dèanamh cinnteach gu bheil deagh sheasamh an aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd tomhasan agus deagh ghiùlan teirmeach aig a’ bhàta grafait, rud a tha riatanach don phròiseas saothrachaidh semiconductor.

Tha na buannachdan a leanas aig bàta grafait isostatic PECVD SEMICERA:

▪ Glanachd àrd: Tha an stuth grafait de fhìor-ghlan agus de shusbaint ìosal gus truailleadh uachdar an wafer a sheachnadh.

▪ Dùmhlachd àrd: Faodaidh dùmhlachd àrd, neart meacanaigeach àrd, seasamh ri teòthachd àrd agus àrainneachd falamh àrd.

▪ Seasmhachd meud math: Atharrachadh beag meud aig teòthachd àrd gus dèanamh cinnteach à seasmhachd pròiseas.

▪ Seòladh teirmeach sàr-mhath: Gluais teas gu h-èifeachdach gus casg a chuir air cus teasachadh wafer.

▪ Frith-aghaidh creimeadh làidir: Comasach air bleith le diofar ghasaichean creimneach agus plasma.

Paramadair coileanaidh	leth-chrioch	SGL R6510	Paramadair coileanaidh
Dùmhlachd mòr (g/cm3)	1.91	1.83	1.85
Neart cromadh (MPa)	63	60	49
Neart teannachaidh (MPa)	135	130	103
cruas a' chladaich (HS)	70	64	60
Co-èifeachd leudachadh teirmeach （10-6 / K）	85	105	130
Co-èifeachd leudachadh teirmeach （10-6 / K）	5.85	4.2	5.0
Resistivity (μΩm)	11-13	13	10

Buannachdan a bhith gar taghadh:
▪ Taghadh stuthan: Bithear a’ cleachdadh stuthan grafait àrd-ghlan gus dèanamh cinnteach à càileachd toraidh.
Teicneòlas giullachd: Thathas a’ cleachdadh brùthadh isostatic gus dèanamh cinnteach à dùmhlachd toraidh agus èideadh.
▪ Gnàthachadh meud: Faodar bàtaichean graphite de dhiofar mheudan agus chumaidhean a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-cleachdaidh.
▪ Làimhseachadh uachdar: Tha grunn dhòighean làimhseachaidh uachdar air an toirt seachad, leithid còmhdach silicon carbide, boron nitride, msaa, gus coinneachadh ri diofar riatanasan pròiseas.