Tha ceann aghaidh na loidhne riochdachaidh coltach ri bhith a 'suidheachadh bunait agus a' togail ballachan taighe. Ann an saothrachadh semiconductor, tha an ìre seo a’ toirt a-steach cruthachadh structaran bunaiteach agus transistors air wafer silicon.
Prìomh cheumannan FEOL:
1. Glanadh:Tòisich le wafer tana silicon agus glan e gus neo-chunbhalachd sam bith a thoirt air falbh.
2. Oxidation:Fàs còmhdach de silicon dà-ogsaid air an wafer gus diofar phàirtean den chip a sgaradh.
3. Photolithography:Cleachd photolithography gus pàtranan a shnaidheadh air an wafer, coltach ri bhith a’ tarraing dhealbh-dhealbhan le solas.
4. Eiteadh:Thoir air falbh silicon dà-ogsaid nach eileas ag iarraidh gus na pàtrain a tha thu ag iarraidh a nochdadh.
5. Doping:Thoir a-steach neo-chunbhalachd a-steach don silicon gus na feartan dealain aige atharrachadh, a’ cruthachadh transistors, na blocaichean togail bunaiteach de chip sam bith.
Meadhan Deireadh na loidhne (MEOL): A’ ceangal nan dotagan
Tha meadhan ceann na loidhne toraidh mar a bhith a’ stàladh uèirleadh agus plumaireachd ann an taigh. Tha an ìre seo ag amas air ceanglaichean a stèidheachadh eadar na transistors a chaidh a chruthachadh aig ìre FEOL.
Prìomh cheumannan MEOL:
1. Tasgaidh dielectric:Cuir a-steach sreathan inslitheach (ris an canar dielectrics) gus na transistors a dhìon.
2. Fios Foirm:Cruthaich fiosan gus na transistors a cheangal ri chèile agus ris an t-saoghal a-muigh.
3. Eadar-cheangal:Cuir sreathan meatailt ris gus slighean a chruthachadh airson comharran dealain, coltach ri sreangadh taighe gus dèanamh cinnteach à cumhachd fuaigheil agus sruthadh dàta.
Deireadh cùil na loidhne (BEOL): Crìochnachadh suathadh
-
Tha deireadh na loidhne riochdachaidh coltach ri bhith a’ cur na suathaidhean deireannach ri taigh - a’ stàladh tàmh-àirneisean, a’ peantadh, agus a’ dèanamh cinnteach gu bheil a h-uile càil ag obair. Ann an saothrachadh semiconductor, tha an ìre seo a’ toirt a-steach cuir ris na sreathan deireannach agus ag ullachadh a’ chip airson pacadh.
Prìomh cheumannan BEOL:
1. Sreathan meatailt a bharrachd:Cuir grunn shreathan meatailt ris gus eadar-cheangal a neartachadh, a’ dèanamh cinnteach gun urrainn don chip gnìomhan iom-fhillte agus astaran àrda a làimhseachadh.
2. Passivation:Cuir sreathan dìon an sàs gus a’ chip a dhìon bho mhilleadh àrainneachd.
3. Deuchainn:Dèan deuchainn teann air a’ chip gus dèanamh cinnteach gu bheil e a’ coinneachadh ris a h-uile sònrachadh.
4. Dicing:Gearr an wafer a-steach do chips fa leth, gach fear deiseil airson a phacaigeadh agus a chleachdadh ann an innealan dealanach.
Ùine puist: Iuchar-08-2024