Modh ullachaidh de phàirtean grafait còmhdaichte le TaC cumanta

PÀIRT/1
Dòigh CVD (tasgadh bhalbhaichean ceimigeach):
Aig 900-2300 ℃, a 'cleachdadh TaCl₅agus CnHm mar stòran tantalum agus gualain, H₂ mar lughdachadh àile, Ar₂ mar gas giùlain, film tasgadh ath-bhualadh. Tha an còmhdach ullaichte teann, èideadh agus fìor-ghlan. Ach, tha cuid de dhuilgheadasan ann leithid pròiseas iom-fhillte, cosgais daor, smachd sruth-adhair duilich agus èifeachdas tasgaidh ìosal.
PÀIRT/2
Dòigh sintering slurry:
Tha an siodar anns a bheil stòr gualain, stòr tantalum, inneal-sgaoilidh agus inneal-ceangail air a chòmhdach air a’ ghrafait agus air a shineadh aig teòthachd àrd às deidh tiormachadh. Bidh an còmhdach ullaichte a’ fàs gun stiùireadh cunbhalach, tha cosgais ìosal aige agus tha e freagarrach airson cinneasachadh mòr. Tha e fhathast ri sgrùdadh gus còmhdach èideadh agus làn a choileanadh air grafait mòr, cuir às do lochdan taic agus neartachadh feachd ceangail còmhdach.
PÀIRT/3
Modh spraeadh plasma:
Tha pùdar TaC air a leaghadh le arc plasma aig teòthachd àrd, air a atomachadh a-steach do boinneagan teòthachd àrd le jet àrd-astar, agus air a spraeadh air uachdar stuth grafait. Tha e furasta còmhdach ogsaid a chruthachadh fo neo-vacuum, agus tha an caitheamh lùtha mòr.

 

Figear . Treidhe wafer às deidh a chleachdadh ann an inneal MOCVD fàs epitaxial GaN (Veeco P75). Tha an tè air an taobh chlì còmhdaichte le TaC agus tha an tè air an làimh dheis còmhdaichte le SiC.

TaC còmhdaichtefeumaidh pàirtean grafait a bhith air am fuasgladh

PÀIRT/1
Feachd ceangail:
Tha an co-èifeachd leudachaidh teirmeach agus feartan corporra eile eadar TaC agus stuthan gualain eadar-dhealaichte, tha an neart ceangail còmhdach ìosal, tha e duilich sgàinidhean, pores agus cuideam teirmeach a sheachnadh, agus tha an còmhdach furasta a rùsgadh anns an fhìor àile anns a bheil lobhadh agus pròiseas àrdachadh is fuarachaidh a-rithist.
PÀIRT/2
Purity:
còmhdach TaCfeumaidh iad a bhith fìor-ghlan gus neo-chunbhalachd agus truailleadh a sheachnadh fo chumhachan teòthachd àrd, agus feumar aontachadh ri inbhean susbaint èifeachdach agus inbhean caractar de charbon an-asgaidh agus neo-chunbhalachd gnèitheach air uachdar agus taobh a-staigh a’ chòmhdach iomlan.
PÀIRT/3
Seasmhachd:
Is e an aghaidh teòthachd àrd agus strì an aghaidh àile ceimigeach os cionn 2300 ℃ na comharran as cudromaiche airson seasmhachd a ’chòmhdaich a dhearbhadh. Tha tuill prìne, sgàinidhean, oiseanan a tha a dhìth, agus crìochan gràin aon-treòrachaidh furasta adhbhrachadh gu bheil gasaichean creimneach a’ dol a-steach agus a’ dol a-steach don ghrafait, a’ leantainn gu fàilligeadh dìon còmhdach.
PÀIRT/4
Frith-aghaidh oxidation:
Bidh TaC a ’tòiseachadh a’ oxidachadh gu Ta2O5 nuair a tha e os cionn 500 ℃, agus tha an ìre oxidation ag àrdachadh gu mòr le àrdachadh teòthachd agus dùmhlachd ogsaidean. Bidh an oxidation uachdar a’ tòiseachadh bho chrìochan gràin agus gràinean beaga, agus mean air mhean a ’cruthachadh criostalan colbh agus criostalan briste, a’ leantainn gu àireamh mhòr de bheàrnan is tuill, agus bidh in-shìoladh ocsaidean a ’teannachadh gus an tèid an còmhdach a thoirt air falbh. Tha droch ghiùlan teirmeach agus measgachadh de dhhathan ann an coltas air an t-sreath ocsaid a thig às.
PÀIRT/5
Co-ionnanachd agus garbh:
Faodaidh cuairteachadh neo-chòmhnard an uachdar còmhdach leantainn gu dùmhlachd cuideam teirmeach ionadail, a ’meudachadh chunnart sgàineadh agus spalling. A bharrachd air an sin, tha garbh uachdar a ’toirt buaidh dhìreach air an eadar-obrachadh eadar an còmhdach agus an àrainneachd a-muigh, agus tha garbhachd ro àrd gu furasta a’ leantainn gu barrachd brisidh leis an wafer agus raon teirmeach neo-chòmhnard.
PÀIRT/6
Meud gràin:
Bidh meud gràin èideadh a’ cuideachadh le seasmhachd a ’chòmhdaich. Ma tha meud an ghràin beag, chan eil an ceangal teann, agus tha e furasta a bhith air a oxidachadh agus air a chreachadh, a 'ciallachadh gu bheil àireamh mhòr de sgàinidhean agus tuill ann an oir a' ghràin, a lùghdaicheas coileanadh dìon a 'chòmhdaich. Ma tha meud an ghràin ro mhòr, tha e an ìre mhath garbh, agus tha an còmhdach furasta a chuir dheth fo chuideam teirmeach.