Tha feum air ceudan de phròiseasan gus tionndadh awafera-steach gu semiconductor. Is e aon de na pròiseasan as cudromaicheeisdeachd- is e sin, snaidheadh pàtrain cuairteachaidh grinn air anwafer. Tha soirbheachadh aneisdeachdTha pròiseas an urra ri bhith a’ riaghladh diofar chaochladairean taobh a-staigh raon cuairteachaidh stèidhichte, agus feumaidh gach uidheamachd sgudail a bhith deiseil airson obrachadh fo na suidheachaidhean as fheàrr. Bidh na h-innleadairean pròiseas sgudail againn a’ cleachdadh teicneòlas saothrachaidh air leth gus am pròiseas mionaideach seo a chrìochnachadh.
Rinn Ionad Naidheachd SK Hynix agallamhan le buill de sgiobaidhean teicnigeach Icheon DRAM Front Etch, Middle Etch, agus End Etch gus barrachd ionnsachadh mun obair aca.
Etch: Turas gu Leasachadh Cinneasachd
Ann an saothrachadh semiconductor, tha eitseáil a’ toirt iomradh air pàtrain gràbhalaidh air filmichean tana. Tha na pàtrain air an spìonadh le bhith a’ cleachdadh plasma gus an dealbh mu dheireadh de gach ceum pròiseas a chruthachadh. Is e a phrìomh adhbhar pàtrain mionaideach a thaisbeanadh gu foirfe a rèir an cruth agus toraidhean èideadh a chumail fo gach suidheachadh.
Ma tha duilgheadasan a 'nochdadh anns a' phròiseas tasgaidh no photolithography, faodaidh iad a bhith air am fuasgladh le bhith a 'taghadh roghnach teicneòlas etching (Etch). Ge-tà, ma thèid rudeigin ceàrr rè a' phròiseas sgudail, chan urrainnear an suidheachadh a thionndadh air ais. Tha seo air sgàth nach urrainn an aon stuth a lìonadh anns an raon gràbhalaidh. Mar sin, anns a’ phròiseas saothrachaidh semiconductor, tha searbhag deatamach gus toradh iomlan agus càileachd toraidh a dhearbhadh.
Tha ochd ceumannan anns a’ phròiseas sìolachaidh: ISO, BG, BLC, GBL, SNC, M0, SN agus MLM.
An toiseach, bidh an ìre ISO (Iolrachadh) a’ sìneadh (Etch) silicon (Si) air an wafer gus an raon cealla gnìomhach a chruthachadh. Tha an ìre BG (Geata Tiodhlagaidh) a’ cruthachadh an loidhne seòlaidh loidhne (Word Line) 1 agus an geata gus seanal dealanach a chruthachadh. An ath rud, bidh an ìre BLC (Bit Line Contact) a’ cruthachadh a’ cheangail eadar an ISO agus an loidhne seòlaidh colbh (Bit Line) 2 anns an raon cealla. Cruthaichidh an ìre GBL (Peri Gate + Cell Bit Line) aig an aon àm loidhne seòlaidh colbh cealla agus an geata air iomall 3.
Tha an ìre SNC (Cùmhnant Node Stòraidh) a’ leantainn air adhart a’ cruthachadh a’ cheangail eadar an raon gnìomhach agus an t-ionad stòraidh 4. Mar thoradh air an sin, tha an ìre M0 (Metal0) a’ cruthachadh puingean ceangail an iomall S/D (Stòradh Node) 5 agus na puingean ceangail eadar loidhne seòlaidh a’ cholbh agus an nód stòraidh. Tha an ìre SN (Stòradh Node) a’ dearbhadh comas an aonaid, agus tha an ìre MLM (Multi Layer Metal) às deidh sin a’ cruthachadh solar cumhachd taobh a-muigh agus uèirleadh a-staigh, agus tha am pròiseas innleadaireachd sgudail (Etch) gu lèir air a chrìochnachadh.
Leis gu bheil teicneòlaichean eitseachaidh (Etch) gu mòr an urra ri pàtrain semiconductors, tha roinn DRAM air a roinn ann an trì sgiobaidhean: Front Etch (ISO, BG, BLC); Meadhan Etch (GBL, SNC, M0); Deireadh Etch (SN, MLM). Tha na sgiobaidhean sin cuideachd air an roinn a rèir suidheachadh saothrachaidh agus suidheachadh uidheamachd.
Tha uallach air dreuchdan saothrachaidh airson a bhith a’ riaghladh agus ag adhartachadh pròiseasan toraidh aonadan. Tha àite glè chudromach aig dreuchdan saothrachaidh ann a bhith ag adhartachadh toradh agus càileachd toraidh tro smachd caochlaideach agus ceumannan optimization toraidh eile.
Tha uallach air dreuchdan uidheamachd airson a bhith a’ riaghladh agus a’ neartachadh uidheamachd toraidh gus duilgheadasan a sheachnadh a dh’ fhaodadh tachairt tron phròiseas sìolachaidh. Is e prìomh dhleastanas suidheachadh uidheamachd dèanamh cinnteach à coileanadh as fheàrr de uidheamachd.
Ged a tha na dleastanasan soilleir, bidh a h-uile sgioba ag obair a dh’ ionnsaigh amas coitcheann - is e sin, pròiseasan toraidh agus uidheamachd co-cheangailte a riaghladh agus adhartachadh gus cinneasachd a leasachadh. Chun na crìche seo, bidh gach sgioba gu gnìomhach a’ roinn an coileanaidhean agus raointean airson leasachadh, agus a’ co-obrachadh gus coileanadh gnìomhachais a leasachadh.
Mar a dhèiligeas tu ri dùbhlain teicneòlas miniaturization
Thòisich SK Hynix cinneasachadh mòr de thoraidhean 8Gb LPDDR4 DRAM airson pròiseas clas 10nm (1a) san Iuchar 2021.
Tha pàtrain cuairteachaidh cuimhne semiconductor air a dhol a-steach don àm 10nm, agus às deidh leasachaidhean, gabhaidh aon DRAM timcheall air 10,000 cealla. Mar sin, eadhon anns a 'phròiseas seiseachaidh, chan eil iomall a' phròiseis gu leòr.
Ma tha an toll cruthaichte (Toll) 6 ro bheag, faodaidh e nochdadh “gun fhosgladh” agus casg a chuir air pàirt ìosal a ’chip. A bharrachd air an sin, ma tha an toll cruthaichte ro mhòr, faodaidh “drochaid” tachairt. Nuair nach eil a’ bheàrn eadar dà thuill gu leòr, bidh “drochaid” a’ tachairt, a’ leantainn gu duilgheadasan ceangail anns na ceumannan a leanas. Mar a bhios semiconductors a ’sìor fhàs grinn, tha an raon de luachan meud tuill a’ crìonadh mean air mhean, agus thèid na cunnartan sin a chuir às mean air mhean.
Gus fuasgladh fhaighinn air na duilgheadasan gu h-àrd, tha eòlaichean teicneòlais eisdeachd a 'leantainn air adhart a' leasachadh a 'phròiseis, a' gabhail a-steach a bhith ag atharrachadh an reasabaidh pròiseas agus an algairim APC7, agus a 'toirt a-steach teicneòlasan ùra de shìneadh leithid ADCC8 agus LSR9.
Mar a bhios feumalachdan teachdaiche a’ fàs nas eadar-mheasgte, tha dùbhlan eile air nochdadh - gluasad cinneasachadh ioma-thoradh. Gus coinneachadh ri feumalachdan luchd-ceannach mar sin, feumar na cumhaichean pròiseas as fheàrr airson gach toradh a shuidheachadh air leth. Tha seo na dhùbhlan sònraichte dha innleadairean oir feumaidh iad toirt air teicneòlas mòr-chinneasachaidh coinneachadh ri feumalachdan an dà chuid suidheachaidhean stèidhichte agus suidheachaidhean eugsamhail.
Chun na crìche seo, thug innleadairean Etch a-steach an teicneòlas “APC offset”10 gus diofar thoraidhean a riaghladh stèidhichte air prìomh thoraidhean (Core Products), agus stèidhich agus chleachd iad an “siostam clàr-amais T” gus grunn thoraidhean a riaghladh gu coileanta. Tro na h-oidhirpean sin, chaidh an siostam a leasachadh gu leantainneach gus coinneachadh ri feumalachdan cinneasachadh ioma-thoradh.
Ùine puist: Iuchar-16-2024