Dè na prìomh cheumannan a th’ ann an làimhseachadh substrates SiC?

Tha mar a tha sinn a’ dèanamh ceumannan giollachd toraidh airson substrates SiC mar a leanas:

1. Crystal Orientation: A' cleachdadh X-ray diffraction gus an ingot criostal a stiùireadh. Nuair a tha beam X-ray air a stiùireadh chun aghaidh criostail a tha thu ag iarraidh, bidh ceàrn an t-seam sgaraichte a’ dearbhadh an stiùireadh criostail.

2. Trast-thomhas a-muigh a’ bleith: Bidh criostalan singilte a dh’ fhàs ann an crucibles grafait gu tric nas àirde na trast-thomhas àbhaisteach. Bidh bleith le trast-thomhas a-muigh gan lughdachadh gu meudan àbhaisteach.

 

3.End Face Grinding: Mar as trice tha dà oir suidheachaidh aig substrates 4-òirleach 4H-SiC, bun-sgoil agus àrd-sgoil. Bidh bleith aghaidh deiridh a’ fosgladh na h-oirean suidheachaidh sin.

4. Sàbhaladh uèir: Tha sàbhadh uèir na cheum deatamach ann a bhith a’ làimhseachadh fo-stratan 4H-SiC. Bidh sgàinidhean agus milleadh fo-uachdar a dh’ adhbhraicheas sàbhadh uèir a’ toirt droch bhuaidh air pròiseasan às deidh sin, a’ leudachadh ùine giollachd agus ag adhbhrachadh call stuthan. Is e an dòigh as cumanta sàbhadh ioma-uèir le sgrìobadh daoimean. Thathas a’ cleachdadh gluasad ath-chuairteach de uèirichean meatailt ceangailte le sgrìoban daoimean gus an ingot 4H-SiC a ghearradh.

5. Siubhal: Gus casg a chuir air sgoltadh iomall agus lughdachadh call caitheamh tro phròiseasan às deidh sin, tha oirean biorach nan sgoltagan sàbhaidh uèir air an camadh gu cumaidhean sònraichte.

6. Tanachadh: Bidh sàbhadh uèir a 'fàgail mòran sgrìoban agus milleadh fon uachdar. Thathas a’ tanachadh a’ cleachdadh cuibhlichean daoimean gus na h-uireasbhaidhean sin a thoirt air falbh cho mòr ‘s as urrainn.

7. bleith: Tha am pròiseas seo a’ toirt a-steach bleith garbh agus bleith mìn le bhith a’ cleachdadh carbide boron de mheud nas lugha no sgrìoban daoimean gus milleadh a tha air fhàgail agus milleadh ùr a chaidh a thoirt a-steach aig àm tanachadh a thoirt air falbh.

8. Snasadh: Tha na ceumannan mu dheireadh a' gabhail a-steach snasadh garbh agus snasadh mìn le bhith a' cleachdadh sgrìoban alumina no sileaconach. Bidh an leaghan snasta a’ bogachadh an uachdar, a thèid an uairsin a thoirt air falbh gu meacanaigeach le sgrìoban. Bidh an ceum seo a’ dèanamh cinnteach à uachdar rèidh agus gun mhilleadh.

9. Glanadh: A 'toirt air falbh gràineanan, meatailtean, filmichean ocsaid, fuigheall organach, agus stuthan truailleadh eile a tha air am fàgail bho na ceumannan giollachd.