Dè na prìomh cheumannan a th’ ann an làimhseachadh substrates SiC?

 

Tha mar a tha sinn a’ dèanamh ceumannan giollachd toraidh airson substrates SiC mar a leanas:

 

1. Crystal Orientation:

Cleachdadh X-ray diffraction gus an ingot criostal a stiùireadh. Nuair a tha beam X-ray air a stiùireadh chun aghaidh criostail a tha thu ag iarraidh, bidh ceàrn an t-seam sgaraichte a’ dearbhadh an stiùireadh criostail.

 

2. Trast-thomhas a-muigh a 'bleith:

Bidh criostalan singilte a dh'fhàsas ann an crucibles grafait gu tric nas àirde na trast-thomhas àbhaisteach. Bidh bleith le trast-thomhas a-muigh gan lughdachadh gu meudan àbhaisteach.

 

 

3.End aghaidh bleith:

Mar as trice tha dà oir suidheachaidh aig substrates 4-òirleach 4H-SiC, bun-sgoil agus àrd-sgoil. Bidh bleith aghaidh deiridh a’ fosgladh na h-oirean suidheachaidh sin.

 

4. Sàbhaladh uèir:

Tha sàbhadh uèir na cheum deatamach ann a bhith a’ làimhseachadh fo-stratan 4H-SiC. Bidh sgàinidhean agus milleadh fo-uachdar a dh’ adhbhraicheas sàbhadh uèir a’ toirt droch bhuaidh air pròiseasan às deidh sin, a’ leudachadh ùine giollachd agus ag adhbhrachadh call stuthan. Is e an dòigh as cumanta sàbhadh ioma-uèir le sgrìobadh daoimean. Thathas a’ cleachdadh gluasad ath-chuairteach de uèirichean meatailt ceangailte le sgrìoban daoimean gus an ingot 4H-SiC a ghearradh.

 

5. Chamfering:

Gus casg a chuir air sgoltadh iomall agus lughdachadh call caitheamh tro phròiseasan às deidh sin, tha oirean biorach nan sgoltagan sàbhaidh uèir air an cuairteachadh gu cumaidhean sònraichte.

 

6. Tanachadh:

Bidh sàbhadh uèir a’ fàgail mòran sgrìoban agus milleadh fo-uachdar. Thathas a’ tanachadh a’ cleachdadh cuibhlichean daoimean gus na h-uireasbhaidhean sin a thoirt air falbh cho mòr ‘s as urrainn.

 

7. A 'bleith:

Tha am pròiseas seo a’ toirt a-steach bleith garbh agus bleith mìn le bhith a’ cleachdadh boron carbide de mheud nas lugha no sgrìoban daoimean gus milleadh a tha air fhàgail agus milleadh ùr a thoirt a-steach aig àm tanachadh a thoirt air falbh.

 

8. Snasadh:

Tha na ceumannan mu dheireadh a’ toirt a-steach snasadh garbh agus snasadh grinn le bhith a’ cleachdadh sgrìoban alumina no sileaconach. Bidh an leaghan snasta a’ bogachadh an uachdar, a thèid an uairsin a thoirt air falbh gu meacanaigeach le sgrìoban. Bidh an ceum seo a’ dèanamh cinnteach à uachdar rèidh agus gun mhilleadh.

 

9. Glanadh:

A’ toirt air falbh mìrean, meatailtean, filmichean ogsaid, fuigheall organach, agus stuthan truaillidh eile a tha air am fàgail bho na ceumannan giollachd.