Dè a th’ ann an Epi Pan Carrier?

Tha an gnìomhachas semiconductor an urra ri uidheamachd air leth sònraichte gus innealan dealanach àrd-inbhe a thoirt gu buil. Is e aon phàirt cho riatanach sa phròiseas fàis epitaxial an neach-giùlan epi pan. Tha àite fìor chudromach aig an uidheamachd seo ann a bhith a’ tasgadh fillidhean epitaxial air wafers semiconductor, a’ dèanamh cinnteach à èideadh agus càileachd an toraidh dheireannaich.

Is e treidhe a chaidh a dhealbhadh gu sònraichte a th’ ann an giùlan pan epitaxy, ris an canar cuideachd neach-giùlan pan epitaxy, a thathas a’ cleachdadh anns a’ phròiseas fàis epitaxial. Bidh e a’ cumail agus a’ toirt taic do wafers semiconductor nuair a thathar a’ tasgadh fillidhean epitaxial. Tha na luchd-giùlan sin air an innleachadh gus seasamh ri teòthachd àrd agus àrainneachdan creimneach a tha àbhaisteach do phròiseasan epitaxial, a’ toirt seachad àrd-ùrlar seasmhach airson fàs sreathan aon-criostail.

Stuthan agus Togail:

Mar as trice bidh luchd-giùlan epi pan air an dèanamh bho stuthan a dh’ fhaodas teòthachd anabarrach fhulang agus a tha an aghaidh ath-bheachdan ceimigeach. Am measg stuthan cumanta tha:

•Silicon Carbide (SiC): Tha e ainmeil airson a ghiùlan teirmeach àrd agus an aghaidh caitheamh agus oxidation, tha SiC na roghainn mòr-chòrdte airson luchd-giùlan epi pan.

• Graphite: Glè thric air a chleachdadh air sgàth a fheartan teirmeach sàr-mhath agus an comas ionracas structarail a chumail aig teòthachd àrd. Mar as trice bidh luchd-giùlan grafait air an còmhdach le SiC gus am seasmhachd agus an aghaidh creimeadh a neartachadh.

Dleastanas ann am Pròiseas Fàs Epitaxial:

Tha am pròiseas fàis epitaxial a’ toirt a-steach a bhith a’ tasgadh sreath tana de stuth criostalach air substrate no wafer. Tha am pròiseas seo deatamach ann a bhith a’ cruthachadh innealan semiconductor le feartan dealain mionaideach. Bidh an neach-giùlan pan epi a’ toirt taic don wafer anns an t-seòmar ath-bhualadh agus a’ dèanamh cinnteach gum fuirich e seasmhach rè a’ phròiseas tasgaidh.

Am measg prìomh dhleastanasan an neach-giùlain epi pan tha:

• Sgaoileadh teas èideadh: Bidh an neach-giùlain a 'dèanamh cinnteach à cuairteachadh teas eadhon air feadh an wafer, a tha riatanach airson a bhith a' coileanadh tighead agus càileachd còmhdach epitaxial cunbhalach.

• Iomallachd ceimigeach: Le bhith a’ toirt seachad uachdar seasmhach agus inert, bidh an neach-giùlain a’ cur casg air ath-bheachdan ceimigeach nach eileas ag iarraidh a dh’ fhaodadh càileachd an t-sreath epitaxial a lughdachadh.

Buannachdan àrd-inbheLuchd-giùlan Epi Pan:

• Coileanadh inneal nas fheàrr: Bidh sreathan epitaxial èideadh a 'cur ri coileanadh nas fheàrr innealan semiconductor, a' ciallachadh gu bheil èifeachdas agus earbsachd nas fheàrr.

• Meudachadh ann an toradh: Le bhith a' lùghdachadh lochdan agus a' dèanamh cinnteach à tasgadh còmhdach èideadh, bidh luchd-còmhdhail àrd-inbhe a' leasachadh toradh wafers semiconductor a ghabhas cleachdadh.

• Lùghdachadh air cosgaisean cumail suas: Bidh stuthan seasmhach agus innleadaireachd mionaideach a’ lughdachadh an fheum air ath-chur is cumail suas tric, a’ lughdachadh nan cosgaisean toraidh iomlan.

Tha an giùlan pan epitaxial na phàirt deatamach den phròiseas fàis epitaxial, a 'toirt buaidh dhìreach air càileachd agus cunbhalachd innealan semiconductor. Le bhith a’ taghadh na stuthan agus an dealbhadh ceart, faodaidh luchd-saothrachaidh am pròiseas epitaxial a bharrachadh, a’ leantainn gu coileanadh inneal nas fheàrr agus cosgaisean toraidh nas ìsle. Mar a tha an t-iarrtas airson innealan dealanach adhartach a 'fàs, tha cudromachd àrd-inbheachluchd-giùlan pana epianns a’ ghnìomhachas semiconductor a’ sìor dhol am meud.