Dè a th’ ann an epitaxy?

Chan eil a’ mhòr-chuid de innleadairean eòlach airepitaxy, aig a bheil àite cudromach ann an saothrachadh innealan semiconductor.Epitaxyfaodar a chleachdadh ann an diofar thoraidhean chip, agus tha diofar sheòrsaichean epitaxy aig diofar thoraidhean, nam measgSi epitaxy, SiC epitaxy, GaN epitaxy, etc.

Dè a th’ ann an epitaxy?
Canar “Epitaxy” gu tric ri Epitaxy sa Bheurla. Tha am facal a’ tighinn bho na faclan Grèigeach “epi” (a’ ciallachadh “gu h-àrd”) agus “tacsasan” (a’ ciallachadh “rèiteachadh”). Mar a tha an t-ainm a’ moladh, tha e a’ ciallachadh a bhith a’ rèiteachadh gu grinn air mullach nì. Is e am pròiseas epitaxy còmhdach criostail singilte tana a thasgadh air aon fho-strat criostail. Canar còmhdach epitaxial ris an t-sreath criostail shingilte ùr seo.

Tha dà phrìomh sheòrsa epitaxy ann: homoepitaxial agus heteroepitaxial. Tha homoepitaxial a’ toirt iomradh air a bhith a’ fàs an aon stuth air an aon sheòrsa fo-strat. Tha an aon structar leusair aig an ìre epitaxial agus an t-substrate. Is e heteroepitaxy fàs stuth eile air substrate de aon stuth. Anns a 'chùis seo, faodaidh structar uachdaran an t-sreath criostail fhàs epitaxially agus an t-substrate a bhith eadar-dhealaichte. Dè a th’ ann an criostalan singilte agus polycrystalline?
Ann an semiconductors, bidh sinn gu tric a’ cluinntinn na teirmean silicon criostail singilte agus silicon polycrystalline. Carson a chanar criostalan singilte ri cuid de silicon agus cuid de silicon ris an canar polycrystalline?

Criostal singilte: Tha an rèiteachadh uachdaran leantainneach agus gun atharrachadh, gun chrìochan gràin, is e sin, tha a 'chriostail gu lèir air a dhèanamh suas de aon ghleus le stiùireadh criostail cunbhalach. Polycrystalline: Tha polycrystalline air a dhèanamh suas de mhòran ghràinean beaga, gach fear dhiubh mar aon chriostal, agus tha an stiùireadh air thuaiream a thaobh a chèile. Tha na gràinean sin air an sgaradh le crìochan gràin. Tha cosgais cinneasachaidh stuthan polycrystalline nas ìsle na cosgais criostalan singilte, agus mar sin tha iad fhathast feumail ann an cuid de thagraidhean. Càite am bi am pròiseas epitaxial an sàs?
Ann a bhith a’ dèanamh chuairtean amalaichte stèidhichte air silicon, tha am pròiseas epitaxial air a chleachdadh gu farsaing. Mar eisimpleir, bithear a’ cleachdadh silicon epitaxy gus còmhdach sileacain fìor-ghlan agus air a smachdachadh gu grinn air substrate sileacain, a tha air leth cudromach airson a bhith a’ dèanamh chuairtean aonaichte adhartach. A bharrachd air an sin, ann an innealan cumhachd, tha SiC agus GaN nan dà stuth semiconductor bandgap farsaing le comasan làimhseachaidh cumhachd sàr-mhath. Mar as trice bidh na stuthan sin air am fàs air silicon no fo-stratan eile tro epitaxy. Ann an conaltradh cuantamach, mar as trice bidh pìosan cuantamach stèidhichte air semiconductor a’ cleachdadh structaran epitaxial silicon germanium. Etc.

Dòighean airson fàs epitaxial?

Trì dòighean epitaxy semiconductor air an cleachdadh gu cumanta:

Epitaxy giùlan moileciuil (MBE): Tha epitaxy beam moileciuil) na theicneòlas fàis epitaxial semiconductor air a dhèanamh fo chumhachan falamh ultra-àrd. Anns an teicneòlas seo, tha an stuth tùsail air a ghluasad ann an cruth dadaman no giùlan moileciuil agus an uairsin air a thasgadh air substrate criostalach. Tha MBE na theicneòlas fàs film tana semiconductor gu math mionaideach agus so-ruigsinneach as urrainn smachd mionaideach a chumail air tiugh an stuth a tha air a thasgadh aig ìre atamach.

CVD organach meatailt (MOCVD): Anns a ’phròiseas MOCVD, tha meatailtean organach agus gasaichean hidride anns a bheil na h-eileamaidean riatanach air an toirt don t-substrate aig teòthachd iomchaidh, agus tha na stuthan semiconductor riatanach air an gineadh tro ath-bheachdan ceimigeach agus air an tasgadh air an t-substrate, fhad‘ s a tha na tha air fhàgail Tha stuthan coimeasgachaidh agus ath-bhualaidh air an sgaoileadh.

Vapor Phase Epitaxy (VPE): Vapor Phase Epitaxy na theicneòlas cudromach a thathas a’ cleachdadh gu cumanta ann a bhith a’ dèanamh innealan semiconductor. Is e am prionnsapal bunaiteach aige a bhith a’ giùlan bhalbhaichean aon stuth no todhar ann an gas giùlain agus criostalan a thasgadh air substrate tro ath-bheachdan ceimigeach.