leth-thalamhtoilichte a bhith a’ tabhann anCassette PFA, prìomh roghainn airson làimhseachadh wafer ann an àrainneachdan far a bheil strì ceimigeach agus seasmhachd air leth cudromach. Air a chiùradh bho stuth fìor-ghlan Perfluoroalkoxy (PFA), tha an cèis seo air a dhealbhadh gus seasamh ris na suidheachaidhean as cruaidhe ann an saothrachadh leth-chraobhan, a’ dèanamh cinnteach à sàbhailteachd agus ionracas do wafers.
Frith-aghaidh ceimigeach gun choimeasTha anCassette PFAair a innleachadh gus strì nas fheàrr a thoirt do raon farsaing de cheimigean, ga fhàgail na dheagh roghainn airson pròiseasan anns a bheil searbhagan ionnsaigheach, solvents agus ceimigean cruaidh eile. Tha an dìon làidir ceimigeach seo a’ dèanamh cinnteach gum fuirich a’ chèis slàn agus obrachail eadhon anns na h-àrainneachdan as creimneach, agus mar sin a’ leudachadh a beatha agus a’ lughdachadh an fheum air ath-chuiridhean tric.
Togail Àrd-puritySemicera'sCassette PFAair a dhèanamh bho stuth PFA fìor-ghlan, a tha deatamach gus casg a chuir air truailleadh aig àm giollachd wafer. Bidh an togail àrd-ghlan seo a’ lughdachadh a’ chunnart bho bhith a’ gineadh ghràinean agus a’ losgadh cheimigeach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil na wafers agad air an dìon bho neo-chunbhalachd a dh’ fhaodadh an càileachd a mhilleadh.
Seasmhachd agus Coileanadh MeudaichteAir a dhealbhadh airson seasmhachd, tha anCassette PFAa’ cumail suas ionracas structarail fo fhìor theodhachd agus suidheachaidhean giullachd teann. Ge bith co-dhiù a tha e fosgailte do theodhachd àrd no air a làimhseachadh gu tric, tha an cèis seo a’ cumail a chumadh agus a choileanadh, a’ tabhann earbsachd fad-ùine ann an àrainneachdan saothrachaidh dùbhlanach.
Innleadaireachd mionaideach airson làimhseachadh tèarainteTha anCassette leth-phìos PFAa’ nochdadh innleadaireachd mionaideach a nì cinnteach gu bheil làimhseachadh wafer tèarainte agus seasmhach. Tha gach slot air a dhealbhadh gu faiceallach gus wafers a chumail gu tèarainte nan àite, a’ casg gluasad no gluasad sam bith a dh’ fhaodadh milleadh adhbhrachadh. Tha an innleadaireachd mionaideach seo a’ toirt taic do shuidheachadh wafer cunbhalach agus ceart, a’ cur ri èifeachdas pròiseas iomlan.
Iarrtas ioma-chruthach thar phròiseasanTaing dha na feartan stuthan adhartach aige, tha anCassette PFAsùbailte gu leòr airson a chleachdadh thar diofar ìrean de saothrachadh semiconductor. Tha e gu sònraichte freagarrach airson searbhag fliuch, tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD), agus pròiseasan eile anns a bheil àrainneachdan ceimigeach cruaidh. Tha an sùbailteachd ga fhàgail na inneal riatanach ann a bhith a’ cumail suas ionracas pròiseas agus càileachd wafer.
Dealas a thaobh Càileachd is Ùr-ghnàthachadhAig Semicera, tha sinn dealasach a thaobh a bhith a’ toirt seachad toraidhean a choinnicheas ri inbhean gnìomhachais as àirde. Tha anCassette PFAa’ nochdadh a’ gheallaidh seo, a’ tabhann fuasgladh earbsach a bhios a’ fighe a-steach gu dlùth ris na pròiseasan saothrachaidh agad. Bidh smachd càileachd teann air gach cassette gus dèanamh cinnteach gu bheil e a’ coinneachadh ris na slatan-tomhais coileanaidh teann againn, a’ lìbhrigeadh an sàr-mhathais ris a bheil dùil agad bho Semicera.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5 m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
