Tha an Si Substrate le Semicera na phàirt riatanach ann an cinneasachadh innealan semiconductor àrd-choileanadh. Air a innleachadh le fìor-ghlan Silicon (Si), tha an t-substrate seo a’ tabhann èideadh sònraichte, seasmhachd, agus giùlan sàr-mhath, ga dhèanamh air leth freagarrach airson raon farsaing de thagraidhean adhartach anns a ’ghnìomhachas semiconductor. Ge bith an tèid a chleachdadh ann an Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, no cinneasachadh SiN Substrate, bidh an Semicera Si Substrate a’ lìbhrigeadh càileachd cunbhalach agus coileanadh nas fheàrr gus coinneachadh ri iarrtasan fàsmhor electronics agus saidheans stuthan.
Coileanadh gun choimeas le fìor-ghlanachd agus mionaideachd
Tha Si Substrate Semicera air a dhèanamh le bhith a’ cleachdadh phròiseasan adhartach a nì cinnteach gu bheil fìor-ghlan agus smachd teann air meud. Tha an t-substrate mar bhunait airson grunn stuthan àrd-choileanaidh a dhèanamh, nam measg Epi-Wafers agus AlN Wafers. Tha cruinneas agus èideadh an Si Substrate ga dhèanamh na dheagh roghainn airson a bhith a’ cruthachadh sreathan epitaxial film tana agus co-phàirtean deatamach eile a thathas a ’cleachdadh ann a bhith a’ dèanamh semiconductors an ath ghinealach. Co-dhiù a tha thu ag obair le Gallium Oxide (Ga2O3) no stuthan adhartach eile, bidh Si Substrate Semicera a ’dèanamh cinnteach gu bheil na h-ìrean as àirde de earbsachd agus coileanadh.
Iarrtasan ann an cinneasachadh semiconductor
Anns a ’ghnìomhachas semiconductor, tha an Si Substrate bho Semicera air a chleachdadh ann an raon farsaing de thagraidhean, a’ toirt a-steach cinneasachadh Si Wafer agus SiC Substrate, far a bheil e a ’toirt seachad bunait seasmhach, earbsach airson a bhith a’ tasgadh sreathan gnìomhach. Tha pàirt deatamach aig an t-substrate ann a bhith a’ dèanamh SOI Wafers (Silicon On Insulator), a tha riatanach airson microelectronics adhartach agus cuairtean amalaichte. A bharrachd air an sin, tha Epi-Wafers (wafers epitaxial) a chaidh a thogail air Si Substrates riatanach ann a bhith a’ toirt a-mach innealan semiconductor àrd-choileanadh leithid transistors cumhachd, diodes, agus cuairtean amalaichte.
Bidh an Si Substrate cuideachd a’ toirt taic do shaothrachadh innealan a’ cleachdadh Gallium Oxide (Ga2O3), stuth bann-leathann gealltanach a thathas a’ cleachdadh airson tagraidhean àrd-chumhachd ann an electronics cumhachd. A bharrachd air an sin, tha co-chòrdalachd Si Substrate Semicera le AlN Wafers agus substrates adhartach eile a’ dèanamh cinnteach gun urrainn dha coinneachadh ri riatanasan eadar-mheasgte ghnìomhachasan àrdteicneòlais, ga dhèanamh na fhìor fhuasgladh airson innealan ùr-nodha a dhèanamh ann an roinnean cian-conaltraidh, càraichean agus gnìomhachais. .
Càileachd earbsach agus seasmhach airson tagraidhean àrdteicneòlais
Tha an Si Substrate le Semicera air a innleachadh gu faiceallach gus coinneachadh ri iarrtasan cruaidh saothrachadh semiconductor. Tha an ionracas structarail sònraichte agus na feartan uachdar àrd-inbhe ga dhèanamh na stuth air leth freagarrach airson a chleachdadh ann an siostaman cassette airson còmhdhail wafer, a bharrachd air a bhith a’ cruthachadh sreathan àrd-chruinneas ann an innealan semiconductor. Tha comas an t-substrate càileachd cunbhalach a chumail suas fo chumhachan pròiseas eadar-dhealaichte a’ dèanamh cinnteach à glè bheag de lochdan, ag àrdachadh toradh agus coileanadh an toraidh deireannach.
Le a ghiùlan teirmeach nas fheàrr, neart meacanaigeach, agus fìor-ghlanachd, is e Semicera's Si Substrate an stuth as fheàrr le luchd-saothrachaidh a tha ag iarraidh na h-ìrean as àirde de chruinneas, earbsachd, agus coileanadh ann an cinneasachadh semiconductor a choileanadh.
Tagh Substrate Si Semicera airson Fuasglaidhean Àrd-ghlanachd, Àrd-choileanadh
Do luchd-saothrachaidh anns a’ ghnìomhachas semiconductor, tha an Si Substrate bho Semicera a’ tabhann fuasgladh làidir, àrd-inbhe airson raon farsaing de thagraidhean, bho cinneasachadh Si Wafer gu cruthachadh Epi-Wafers agus SOI Wafers. Le purrachd, mionaideachd agus earbsachd gun choimeas, tha an t-substrate seo a ’comasachadh innealan leth-chonnsair ùr-nodha a thoirt gu buil, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh fad-ùine agus an èifeachdas as fheàrr. Tagh Semicera airson na feumalachdan substrate Si agad, agus earbsa ann an toradh a chaidh a dhealbhadh gus coinneachadh ri iarrtasan theicneòlasan a-màireach.
Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
Paramadairean criostal | |||
Polytype | 4H | ||
Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
Paramadairean dealain | |||
Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
Paramadairean meacanaigeach | |||
Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
Tigheadas | 350±25 m | ||
Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
TBh | ≤5m | ≤10m | ≤15 m |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Structar | |||
Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Càileachd aghaidh | |||
Aghaidh | Si | ||
Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
Càileachd air ais | |||
Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
Oir | |||
Oir | Chamfer | ||
Pacadh | |||
Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
* Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. |