Semicera'sSilicon carbide epitaxyair a innleachadh gus coinneachadh ri iarrtasan cruaidh thagraidhean semiconductor an latha an-diugh. Le bhith a’ cleachdadh dhòighean fàis epitaxial adhartach, bidh sinn a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach còmhdach carbide sileaconach a’ nochdadh càileachd criostalach air leth, èideadh, agus dùmhlachd uireasbhaidh as lugha. Tha na feartan sin deatamach airson a bhith a’ leasachadh electronics cumhachd àrd-choileanadh, far a bheil èifeachdas agus riaghladh teirmeach air leth cudromach.
Tha anSilicon carbide epitaxyTha pròiseas aig Semicera air a bharrrachadh gus sreathan epitaxial a thoirt gu buil le tiugh mionaideach agus smachd dopaidh, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh cunbhalach thar raon de dh’ innealan. Tha an ìre seo de chruinneas riatanach airson tagraidhean ann an carbadan dealain, siostaman lùth ath-nuadhachail, agus conaltradh àrd-tricead, far a bheil earbsachd agus èifeachdas deatamach.
A bharrachd air an sin, tha Semicera'sSilicon carbide epitaxya’ tabhann giùlan teirmeach leasaichte agus bholtadh brisidh nas àirde, ga fhàgail mar an roghainn as fheàrr le innealan a tha ag obair fo chumhachan fìor. Bidh na feartan sin a’ cur ri beatha innealan nas fhaide agus èifeachdas siostam iomlan nas fheàrr, gu sònraichte ann an àrainneachdan àrd-chumhachd agus teòthachd àrd.
Bidh Semicera cuideachd a’ toirt seachad roghainnean gnàthachaidh airsonSilicon carbide epitaxy, a 'ceadachadh fuasglaidhean sònraichte a choinnicheas ri riatanasan innealan sònraichte. Ge bith an ann airson rannsachadh no cinneasachadh mòr, tha na sreathan epitaxial againn air an dealbhadh gus taic a thoirt don ath ghinealach de innleachdan semiconductor, a’ comasachadh leasachadh innealan dealanach nas cumhachdaiche, nas èifeachdaiche agus nas earbsaiche.
Le bhith ag amalachadh teicneòlas ùr-nodha agus pròiseasan smachd càileachd teann, bidh Semicera a’ dèanamh cinnteach gu bheil arSilicon carbide epitaxychan e a-mhàin gu bheil toraidhean a’ coinneachadh ach a’ dol thairis air ìrean gnìomhachais. Tha an dealas seo airson sàr-mhathais a’ fàgail na sreathan epitaxial againn mar bhunait air leth airson tagraidhean adhartach leth-chonnsair, a’ fuasgladh na slighe airson leasachaidhean ann an electronics cumhachd agus optoelectronics.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
