Silicon air insulator wafers

Tuairisgeul goirid:

Bidh wafers Silicon-on-Insulator aig Semicera a’ toirt seachad fuasglaidhean àrd-choileanaidh airson tagraidhean adhartach semiconductor. Gu math freagarrach airson MEMS, mothachairean, agus microelectronics, tha na wafers sin a’ toirt seachad aonaranachd dealain sàr-mhath agus comas dìosganach ìosal. Bidh Semicera a’ dèanamh cinnteach à cinneasachadh mionaideach, a’ lìbhrigeadh càileachd cunbhalach airson raon de theicneòlasan ùr-ghnàthach. Tha sinn a’ coimhead air adhart ri bhith nad chom-pàirtiche fad-ùine ann an Sìona.


Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Silicon air insulator wafersbho Semicera air an dealbhadh gus coinneachadh ris an iarrtas a tha a’ sìor fhàs airson fuasglaidhean semiconductor àrd-choileanadh. Bidh na wafers SOI againn a’ tabhann coileanadh dealain nas fheàrr agus comas inneal dìosganach nas lugha, gan dèanamh air leth freagarrach airson tagraidhean adhartach leithid innealan MEMS, mothachairean, agus cuairtean amalaichte. Tha eòlas Semicera ann an cinneasachadh wafer a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach fearSOI wafera’ toirt seachad toraidhean earbsach, àrd-inbhe airson na feumalachdan teicneòlais an ath ghinealach agad.

Tha arSilicon air insulator waferstairgse an cothromachadh as fheàrr eadar cosgais-èifeachdas agus coileanadh. Le cosgais wafer soi a’ sìor fhàs farpaiseach, tha na wafers sin air an cleachdadh gu farsaing ann an raon de ghnìomhachasan, a’ toirt a-steach microelectronics agus optoelectronics. Tha pròiseas cinneasachaidh àrd-chruinneas Semicera a’ gealltainn ceangal wafer nas fheàrr agus èideadh, gan dèanamh freagarrach airson grunn thagraidhean, bho wafers SOI cavity gu wafers silicon àbhaisteach.

Prìomh fheartan:

Wafers SOI àrd-inbhe air an ùrachadh airson coileanadh ann am MEMS agus tagraidhean eile.

Cosgais wafer soi farpaiseach do ghnìomhachasan a tha a’ sireadh fuasglaidhean adhartach gun a bhith a’ toirt buaidh air càileachd.

Fìor mhath airson teicneòlasan ùr-nodha, a’ tabhann iomallachd dealain leasaichte agus èifeachdas ann an silicon air siostaman insulation.

Tha arSilicon air insulator wafersair an innleachadh gus fuasglaidhean àrd-choileanaidh a thoirt seachad, a’ toirt taic don ath tonn de ùr-ghnàthachadh ann an teicneòlas semiconductor. Co-dhiù a tha thu ag obair air tollwafers SOI, innealan MEMS, no silicon air co-phàirtean insulator, bidh Semicera a’ lìbhrigeadh wafers a choinnicheas ris na h-ìrean as àirde sa ghnìomhachas.

Nithean

Riochdachadh

Rannsachadh

Dummy

Paramadairean criostal

Polytype

4H

Mearachd treòrachadh uachdar

<11-20>4±0.15°

Paramadairean dealain

Dopant

n-seòrsa Nitrigin

Resistivity

0.015-0.025ohm·cm

Paramadairean meacanaigeach

Trast-thomhas

150.0±0.2mm

Tigheadas

350±25 m

Prìomh stiùireadh còmhnard

[1-100]±5°

Prìomh fhad còmhnard

47.5±1.5mm

Flat àrd-sgoile

Chan eil gin

TBh

≤5m

≤10m

≤15 m

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Bogha

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35m

≤45m

≤55m

Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structar

Dùmhlachd micropìoba

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Neo-dhìomhaireachd meatailt

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Càileachd aghaidh

Aghaidh

Si

Crìoch air uachdar

Si-aghaidh CMP

Pàirtean

≤60ea / wafer (meud≥0.3μm)

NA

sgrìoban

≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas

Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas

NA

Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh

Chan eil gin

NA

Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex

Chan eil gin

Sgìrean polytype

Chan eil gin

Raon cruinnichte≤20%

Raon cruinnichte≤30%

Comharrachadh laser aghaidh

Chan eil gin

Càileachd air ais

Crìoch air ais

C-aghaidh CMP

sgrìoban

≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas

NA

Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent)

Chan eil gin

Cùl garbh

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Comharrachadh laser cùil

1 mm (bhon oir as àirde)

Oir

Oir

Chamfer

Pacadh

Pacadh

Epi-deiseil le pacadh falamh

Pacadh cassette ioma-wafer

* Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD.

tech_1_2_meud
wafers SiC

  • Roimhe:
  • Air adhart: