Tha SOI Wafer aig Semicera (Silicon On Insulator) air a dhealbhadh gus aonaranachd dealain nas fheàrr agus coileanadh teirmeach a lìbhrigeadh. Tha an structar wafer ùr-ghnàthach seo, le còmhdach sileaconach air còmhdach inslithe, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh inneal nas fheàrr agus caitheamh cumhachd nas ìsle, ga dhèanamh air leth freagarrach airson grunn thagraidhean àrdteicneòlais.
Tha na wafers SOI againn a’ tabhann buannachdan air leth airson cuairtean amalaichte le bhith a’ lughdachadh comas dìosganach agus ag adhartachadh astar agus èifeachdas innealan. Tha seo deatamach airson electronics an latha an-diugh, far a bheil àrd-choileanadh agus èifeachdas lùtha riatanach an dà chuid airson tagraidhean luchd-cleachdaidh agus gnìomhachais.
Bidh Semicera a’ cleachdadh dhòighean saothrachaidh adhartach gus wafers SOI a thoirt gu buil le càileachd cunbhalach agus earbsachd. Tha na wafers sin a’ toirt seachad insulation teirmeach sàr-mhath, gan dèanamh freagarrach airson an cleachdadh ann an àrainneachdan far a bheil sgaoileadh teas na adhbhar dragh, leithid ann an innealan dealanach àrd-dùmhlachd agus siostaman riaghlaidh cumhachd.
Tha cleachdadh wafers SOI ann an dèanamh semiconductor a’ ceadachadh sgoltagan nas lugha, nas luaithe agus nas earbsaiche a leasachadh. Tha dealas Semicera a thaobh innleadaireachd mionaideach a’ dèanamh cinnteach gu bheil na wafers SOI againn a’ coinneachadh ris na h-ìrean àrda a tha riatanach airson teicneòlasan ùr-nodha ann an raointean leithid cian-chonaltradh, càraichean agus electronics luchd-cleachdaidh.
Tha a bhith a’ taghadh Wafer SOI aig Semicera a’ ciallachadh tasgadh a dhèanamh ann an toradh a bheir taic do bhith ag adhartachadh teicneòlasan dealanach agus microelectronic. Tha na wafers againn air an dealbhadh gus coileanadh agus seasmhachd nas fheàrr a thoirt seachad, a’ cur ri soirbheachas do phròiseactan àrdteicneòlais agus a’ dèanamh cinnteach gum fuirich thu aig fìor thoiseach ùr-ghnàthachadh.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
