Ro-ràdh do chòmhdach CVD TaC:
Is e teicneòlas a th’ ann an CVD TaC Coating a bhios a’ cleachdadh tasgadh bhalbhaichean ceimigeach gus còmhdach tantalum carbide (TaC) a thasgadh air uachdar substrate. Tha Tantalum carbide na stuth ceirmeag àrd-choileanadh le feartan meacanaigeach agus ceimigeach sàr-mhath. Bidh am pròiseas CVD a’ gineadh film TaC èideadh air uachdar an t-substrate tro ath-bhualadh gas.
Prìomh fheartan:
Cruas sàr-mhath agus strì an aghaidh caitheamh: Tha cruas fìor àrd aig Tantalum carbide, agus faodaidh CVD TaC Coating leasachadh mòr a thoirt air caitheamh caitheamh an t-substrate. Tha seo a’ dèanamh an còmhdach air leth freagarrach airson tagraidhean ann an àrainneachdan caitheamh àrd, leithid innealan gearraidh agus molltairean.
Seasmhachd Teòthachd Àrd: Bidh còmhdach TaC a’ dìon pàirtean fùirneis èiginneach agus reactor aig teòthachd suas gu 2200 ° C, a’ nochdadh deagh sheasmhachd. Bidh e a ’cumail seasmhachd ceimigeach agus meacanaigeach fo chumhachan fìor theodhachd, ga dhèanamh freagarrach airson giollachd àrd-teòthachd agus tagraidhean ann an àrainneachdan àrd-teòthachd.
Seasmhachd ceimigeach sàr-mhath: Tha neart làidir aig tantalum carbide an aghaidh a 'mhòr-chuid de dh' acids agus alkalis, agus faodaidh CVD TaC Coating casg a chuir air milleadh air an t-substrate ann an àrainneachdan creimneach.
Puing leaghaidh àrd: Tha puing leaghaidh àrd aig Tantalum carbide (timcheall air 3880 ° C), a ’ceadachadh CVD TaC Coating a chleachdadh ann an suidheachaidhean fìor àrd teòthachd gun leaghadh no truailleadh.
Seòladh teirmeach sàr-mhath: Tha giùlan teirmeach àrd aig còmhdach TaC, a chuidicheas le bhith a’ sgaoileadh teas gu h-èifeachdach ann am pròiseasan àrd-teòthachd agus a chuireas casg air cus teasachadh ionadail.
Iarrtasan a dh’fhaodadh a bhith ann:
• Co-phàirtean reactor CVD epitaxial Gallium Nitride (GaN) agus Silicon Carbide a’ gabhail a-steach luchd-giùlan wafer, soithichean saideal, cinn fras, mullaichean, agus susceptors
• Co-phàirtean fàs criostail sileacon carbide, gallium nitride agus aluminium nitride (AlN) a' gabhail a-steach crucibles, luchd-gleidhidh sìol, fàinneachan treòrachaidh agus sìoltachain
• Co-phàirtean gnìomhachais a' gabhail a-steach eileamaidean teasachaidh frith-rathaid, nozzles stealladh, fàinneachan fasgach agus jigs pràise
Feartan tagraidh:
• Teòthachd seasmhach os cionn 2000 ° C, a 'ceadachadh obrachadh aig fìor theodhachd
• A' seasamh an aghaidh haidridean (Hz), ammonia (NH3), monosilane (SiH4) agus sileaconach (Si), a' toirt dìon ann an àrainneachdan ceimigeach cruaidh
• Tha an strì an aghaidh clisgeadh teirmeach a’ comasachadh cuairtean obrachaidh nas luaithe
• Tha adhesion làidir aig Graphite, a 'dèanamh cinnteach à beatha seirbheis fhada agus gun delamination còmhdach.
• Ultra-ghlanachd àrd gus cuir às do neo-chunbhalachd neo truaillearan neo-riatanach
• Còmhdach còmhdach co-chòrdail ri fulangas meud teann
Sònrachaidhean teicnigeach:
Ag ullachadh còmhdach carbide tantalum dùmhail le CVD:
Còmhdach TAC le criostalan àrd agus èideadh sàr-mhath:
Paramadairean Teicnigeach CVD TAC COATING_Semicera:
Feartan fiosaigeach còmhdach TaC | |
Dùmhlachd | 14.3 (g/cm³) |
Meudachadh mòr | 8 x 1015/cm |
Neo-eisimeileachd sònraichte | 0.3 |
Co-èifeachd leudachadh teirmeach | 6.3 10-6/K |
cruas (HK) | 2000 HK |
Bulk Resistivity | 4.5 ohm-cm |
Resistance | 1x10-5Ach* cm |
Seasmhachd teirmeach | <2500 ℃ |
Gluasad | 237 cm2/Vs |
Bidh meud graphite ag atharrachadh | -10~-20um |
Tighead còmhdach | ≥20um luach àbhaisteach (35um+10um) |
Tha na luachan gu h-àrd nan luachan àbhaisteach.