Teicneòlas ceangail wafer

Giullachd MEMS - Ceangal: Iarrtas agus Coileanadh ann an Gnìomhachas Semiconductor, Seirbheis Sònraichte Semicera

 

Anns na gnìomhachasan microelectronics agus semiconductor, tha teicneòlas MEMS (siostaman micro-electromechanical) air a thighinn gu bhith mar aon de na prìomh theicneòlasan a tha a’ stiùireadh ùr-ghnàthachadh agus uidheamachd àrd-choileanaidh. Le adhartas saidheans agus teicneòlas, chaidh teicneòlas MEMS a chleachdadh gu farsaing ann an mothachairean, actuators, innealan optigeach, uidheamachd meidigeach, electronics chàraichean agus raointean eile, agus mean air mhean tha e air fàs gu bhith na phàirt riatanach de theicneòlas an latha an-diugh. Anns na raointean sin, tha pàirt deatamach aig a’ phròiseas ceangail (Bonding), mar phrìomh cheum ann an giullachd MEMS, ann an coileanadh agus earbsachd an inneil.

 

Is e teicneòlas a th’ ann an ceangal a tha a’ ceangal dà stuth no barrachd gu daingeann tro dhòighean fiosaigeach no ceimigeach. Mar as trice, feumar diofar shreathan stuthan a cheangal le bhith a’ ceangal innealan MEMS gus ionracas structarail agus coileanadh gnìomh a choileanadh. Ann am pròiseas saothrachaidh innealan MEMS, chan e a-mhàin pròiseas ceangail a th ’ann an ceangal, ach tha e cuideachd a’ toirt buaidh dhìreach air seasmhachd teirmeach, neart meacanaigeach, coileanadh dealain agus taobhan eile den inneal.

 

Ann an giullachd MEMS àrd-chruinneas, feumaidh teicneòlas ceangail dèanamh cinnteach gu bheil dlùth cheangal eadar stuthan agus aig an aon àm a ’seachnadh uireasbhaidhean sam bith a bheir buaidh air coileanadh an inneil. Mar sin, tha smachd mionaideach air a’ phròiseas ceangail agus stuthan ceangail àrd-inbhe nam prìomh nithean gus dèanamh cinnteach gu bheil an toradh deireannach a’ coinneachadh ri inbhean gnìomhachais.

 

1-210H11H51U40 

Iarrtasan ceangail MEMS anns a’ ghnìomhachas semiconductor

Anns a ’ghnìomhachas semiconductor, thathas a’ cleachdadh teicneòlas MEMS gu farsaing ann a bhith a ’dèanamh meanbh-innealan leithid mothachairean, luathaichean-luath, mothachaidhean cuideam, agus gyroscopes. Leis an iarrtas a tha a’ sìor fhàs airson toraidhean miniaturized, amalaichte agus tùrail, tha cruinneas agus riatanasan coileanaidh innealan MEMS a ’dol am meud cuideachd. Anns na tagraidhean sin, thathas a’ cleachdadh teicneòlas ceangail gus diofar stuthan leithid wafers silicon, glainne, meatailtean agus polymers a cheangal gus gnìomhan èifeachdach is seasmhach a choileanadh.

 

1. Luchd-mothachaidh cuideam agus luas-luadair
Ann an raointean chàraichean, aerospace, electronics luchd-cleachdaidh, msaa, thathas a ’cleachdadh mothachairean cuideam MEMS agus luathaichean-luaths ann an siostaman tomhais agus smachd. Tha am pròiseas ceangail air a chleachdadh gus sgoltagan silicon agus eileamaidean mothachaidh a cheangal gus dèanamh cinnteach à cugallachd àrd agus mionaideachd. Feumaidh na mothachairean sin a bhith comasach air seasamh ri fìor shuidheachaidhean àrainneachd, agus faodaidh pròiseasan ceangail àrd-inbhe casg a chuir gu h-èifeachdach air stuthan bho bhith a’ dealachadh no a bhith mì-ghnìomhach mar thoradh air atharrachaidhean teothachd.

 

2. Innealan micro-optigeach agus suidsichean optigeach MEMS
Ann an raon conaltradh optigeach agus innealan laser, tha àite cudromach aig innealan optigeach MEMS agus suidsichean optigeach. Tha teicneòlas ceangail air a chleachdadh gus ceangal mionaideach a choileanadh eadar innealan MEMS stèidhichte air silicon agus stuthan leithid snàithleach optigeach agus sgàthan gus dèanamh cinnteach à èifeachdas agus seasmhachd tar-chuir comharran optigeach. Gu sònraichte ann an tagraidhean le tricead àrd, leud-bann farsaing agus tar-chuir astar fada, tha teicneòlas ceangail àrd-choileanadh deatamach.

 

3. MEMS gyroscopes agus inertial sensaran
Thathas a’ cleachdadh gyroscopes MEMS agus mothachairean inertial gu farsaing airson seòladh agus suidheachadh mionaideach ann an gnìomhachasan àrd-ìre leithid draibheadh ​​​​fèin-riaghailteach, robotics, agus aerospace. Faodaidh pròiseasan ceangail àrd-chruinneas dèanamh cinnteach à earbsachd innealan agus seachnadh truailleadh no fàilligeadh coileanaidh rè obrachadh fad-ùine no obrachadh àrd-tricead.

 

Prìomh riatanasan coileanaidh teicneòlas ceangail ann an giullachd MEMS

Ann an giullachd MEMS, bidh càileachd a ’phròiseas ceangail gu dìreach a’ dearbhadh coileanadh, beatha agus seasmhachd an inneil. Gus dèanamh cinnteach gun obraich innealan MEMS gu earbsach airson ùine mhòr ann an diofar shuidheachaidhean tagraidh, feumaidh na prìomh choileanadh a leanas a bhith aig teicneòlas ceangail:

1. Seasmhachd teirmeach àrd
Tha suidheachaidhean teòthachd àrd aig mòran de dh’ àrainneachdan tagraidh anns a ’ghnìomhachas semiconductor, gu sònraichte ann an raointean chàraichean, itealain, msaa. Tha seasmhachd teirmeach an stuth ceangail deatamach agus faodaidh e seasamh ri atharrachaidhean teothachd gun truailleadh no fàilligeadh.

 

2. Àrd caitheamh aghaidh
Mar as trice bidh innealan MEMS a’ toirt a-steach structaran meanbh-mheicnigeach, agus faodaidh suathadh is gluasad fad-ùine caitheamh nam pàirtean ceangail. Feumaidh deagh neart caitheamh a bhith aig an stuth ceangail gus dèanamh cinnteach à seasmhachd agus èifeachdas an inneil ann an cleachdadh fad-ùine.

 

3. Àrd purity

Tha riatanasan teann aig a’ ghnìomhachas semiconductor a thaobh purrachd stuthan. Faodaidh truailleadh beag sam bith fàilligeadh inneal no lughdachadh coileanaidh adhbhrachadh. Mar sin, feumaidh purrachd fìor àrd a bhith aig na stuthan a thathar a’ cleachdadh sa phròiseas ceangail gus dèanamh cinnteach nach toir truailleadh bhon taobh a-muigh buaidh air an inneal rè obrachadh.

 

4. mionaideach bonding mionaideachd
Gu tric feumaidh innealan MEMS cruinneas giollachd ìre micron no eadhon nanometer. Feumaidh am pròiseas ceangail dèanamh cinnteach gu bheil gach sreath de stuth a’ docaigeadh gu mionaideach gus dèanamh cinnteach nach eilear a’ toirt buaidh air obair agus coileanadh an inneil.

 

1-210H11H304549 1-210GFZ0050-L

Ceangal anodic

Ceangal Anodic:
● Co-cheangailte ri ceangal eadar wafers sileaconach agus glainne, meatailt agus glainne, semiconductor agus alloy, agus semiconductor agus glainne
Ceangal Eutectoid:
● Co-cheangailte ri stuthan leithid PbSn, AuSn, CuSn, agus AuSi

Ceangal glue:
● Cleachd glaodh ceangail sònraichte, a tha freagarrach airson glaodhan ceangail sònraichte leithid AZ4620 agus SU8
● Co-cheangailte ri 4-òirleach agus 6-òirleach

 

Seirbheis ceangail àbhaisteach Semicera

Mar sholaraiche air thoiseach air gnìomhachas de fhuasglaidhean giullachd MEMS, tha Semicera dealasach a thaobh seirbheisean ceangail gnàthaichte àrd-chruinneas, àrd-sheasmhachd a thoirt do luchd-ceannach. Faodar an teicneòlas ceangail againn a chleachdadh gu farsaing ann an ceangal diofar stuthan, a ’toirt a-steach silicon, glainne, meatailt, ceirmeag, msaa, a’ toirt seachad fuasglaidhean ùr-ghnàthach airson tagraidhean àrd-ìre anns na raointean semiconductor agus MEMS.

 

Tha uidheamachd toraidh adhartach agus sgiobaidhean teignigeach aig Semicera, agus is urrainn dhaibh fuasglaidhean ceangail gnàthaichte a thoirt seachad a rèir feumalachdan sònraichte luchd-ceannach. Ge bith an e ceangal earbsach a th ’ann fo teòthachd àrd agus àrainneachd bruthadh àrd, no ceangal meanbh-inneal mionaideach, faodaidh Semicera coinneachadh ri diofar riatanasan pròiseas iom-fhillte gus dèanamh cinnteach gun urrainn do gach toradh na h-ìrean càileachd as àirde a choileanadh.

 

Chan eil an t-seirbheis ceangail àbhaisteach againn cuingealaichte ri pròiseasan ceangail gnàthach, ach tha e cuideachd a’ toirt a-steach ceangal meatailt, ceangal teannachaidh teirmeach, ceangal adhesive agus pròiseasan eile, a bheir seachad taic theicnigeach proifeasanta airson diofar stuthan, structaran agus riatanasan tagraidh. A bharrachd air an sin, faodaidh Semicera cuideachd làn sheirbheis a thoirt do luchd-ceannach bho leasachadh prototype gu mòr-chinneasachadh gus dèanamh cinnteach gun tèid a h-uile riatanas teignigeach de luchd-ceannach a thoirt gu buil gu ceart.