Semicera'sCassette Waferna phàirt riatanach den phròiseas saothrachaidh semiconductor, air a dhealbhadh gus wafers semiconductor fìnealta a chumail agus a ghiùlan gu tèarainte. Tha anCassette Wafera’ toirt seachad dìon air leth, a’ dèanamh cinnteach gu bheil gach wafer air a chumail saor bho stuthan truailleadh agus milleadh corporra rè làimhseachadh, stòradh agus còmhdhail.
Air a thogail le stuthan àrd-ghlan, dìonach ceimigeach, an SemiceraCassette Wafera’ gealltainn na h-ìrean glainead is mairsinneachd as àirde, a tha riatanach airson ionracas wafers a chumail aig gach ìre de chinneasachadh. Tha innleadaireachd mionaideach nan casaidean sin a’ ceadachadh amalachadh fuaigheil le siostaman làimhseachaidh fèin-ghluasadach, a’ lughdachadh cunnart truailleadh agus milleadh meacanaigeach.
Tha dealbhadh anCassette Wafercuideachd a’ toirt taic do shruth-adhair agus smachd teothachd as fheàrr, a tha deatamach airson pròiseasan a dh’ fheumas suidheachaidhean àrainneachd sònraichte. Ge bith an tèid a chleachdadh ann an seòmraichean glan no rè giollachd teirmeach, tha an SemiceraCassette Waferair a innleachadh gus coinneachadh ri iarrtasan teann a’ ghnìomhachais semiconductor, a’ toirt seachad coileanadh earbsach is cunbhalach gus èifeachdas saothrachaidh agus càileachd toraidh àrdachadh.
| Nithean | Riochdachadh | Rannsachadh | Dummy |
| Paramadairean criostal | |||
| Polytype | 4H | ||
| Mearachd treòrachadh uachdar | <11-20>4±0.15° | ||
| Paramadairean dealain | |||
| Dopant | n-seòrsa Nitrigin | ||
| Resistivity | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| Paramadairean meacanaigeach | |||
| Trast-thomhas | 150.0±0.2mm | ||
| Tigheadas | 350±25 m | ||
| Prìomh stiùireadh còmhnard | [1-100]±5° | ||
| Prìomh fhad còmhnard | 47.5±1.5mm | ||
| Flat àrd-sgoile | Chan eil gin | ||
| TBh | ≤5 m | ≤10m | ≤15 m |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Bogha | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35m | ≤45m | ≤55m |
| Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Structar | |||
| Dùmhlachd micropìoba | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Neo-dhìomhaireachd meatailt | ≤5E10atoms/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Càileachd aghaidh | |||
| Aghaidh | Si | ||
| Crìoch air uachdar | Si-aghaidh CMP | ||
| Pàirtean | ≤60ea / wafer (meud≥0.3μm) | NA | |
| sgrìoban | ≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas | Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas | NA |
| Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh | Chan eil gin | NA | |
| Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex | Chan eil gin | ||
| Sgìrean polytype | Chan eil gin | Raon cruinnichte≤20% | Raon cruinnichte≤30% |
| Comharrachadh laser aghaidh | Chan eil gin | ||
| Càileachd air ais | |||
| Crìoch air ais | C-aghaidh CMP | ||
| sgrìoban | ≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas | NA | |
| Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent) | Chan eil gin | ||
| Cùl garbh | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Comharrachadh laser cùil | 1 mm (bhon oir as àirde) | ||
| Oir | |||
| Oir | Chamfer | ||
| Pacadh | |||
| Pacadh | Epi-deiseil le pacadh falamh Pacadh cassette ioma-wafer | ||
| * Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD. | |||
