Bidh Semicera a’ toirt seachad còmhdach sònraichte tantalum carbide (TaC) airson diofar phàirtean agus luchd-giùlan.Tha pròiseas còmhdach adhartach Semicera a’ comasachadh còmhdach tantalum carbide (TaC) gus purrachd àrd, seasmhachd teòthachd àrd agus fulangas ceimigeach àrd a choileanadh, ag adhartachadh càileachd toraidh criostalan SIC / GAN agus sreathan EPI (Susceptor TaC còmhdaichte le graphite), agus a’ leudachadh beatha nam prìomh phàirtean reactair.Tha cleachdadh còmhdach tantalum carbide TaC gus fuasgladh fhaighinn air an duilgheadas iomall agus càileachd fàs criostail a leasachadh, agus tha Semicera air adhartas mòr a dhèanamh gus teicneòlas còmhdach tantalum carbide (CVD) fhuasgladh, a’ ruighinn ìre adhartach eadar-nàiseanta.
Le teachd wafers 8-òirleach silicon carbide (SiC), tha na riatanasan airson diofar phròiseasan semiconductor air fàs nas cruaidhe, gu sònraichte airson pròiseasan epitaxy far am faod an teòthachd a bhith nas àirde na 2000 ceum Celsius.Tha stuthan susceptor traidiseanta, leithid grafait còmhdaichte le silicon carbide, buailteach a bhith sublimate aig na teodhachd àrd sin, a’ cur dragh air a’ phròiseas epitaxy.Ach, tha CVD tantalum carbide (TaC) gu h-èifeachdach a ’dèiligeadh ris a’ chùis seo, a ’seasamh an aghaidh teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius agus a’ tabhann beatha seirbheis nas fhaide.Cuir fios gu Semicera's Halfmoon Uarach còmhdaichte le CVD Tantalum Carbidegus barrachd a rannsachadh mu na fuasglaidhean adhartach againn.
Às deidh bliadhnaichean de leasachadh, tha Semicera air buaidh a thoirt air teicneòlas aigCVD TaCle co-oidhirpean na roinne R&D.Tha e furasta lochdan nochdadh ann am pròiseas fàis wafers SiC, ach às deidh an cleachdadhTaC, tha an diofar cudromach.Gu h-ìosal tha coimeas eadar wafers le agus às aonais TaC, a bharrachd air pàirtean Simicera airson fàs criostail singilte.
le agus as aonais TaC
Às deidh dhut TaC a chleachdadh (deas)
A bharrachd air an sin, tha Semicera'sBathar còmhdaichte le TaCtaisbeanadh beatha seirbheis nas fhaide agus barrachd strì an aghaidh teòthachd àrd an taca ricòmhdach SiC.Tha tomhasan obair-lann air dearbhadh gu bheil arcòmhdach TaCcomasach air coileanadh gu cunbhalach aig teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius airson amannan fada.Gu h-ìosal tha eisimpleirean de na sampallan againn:
Susceptor còmhdaichte le TaC
Graphite le reactair còmhdaichte le TaC
