Tha Semicera a’ taisbeanadh cleachdaidhean àrd-inbhepleadhagan cantilever silicon carbideair a dhealbhadh gus pròiseasan saothrachaidh semiconductor àrdachadh. An innleachdachSiC pleadhagtha dealbhadh a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd sònraichte agus neart teirmeach àrd, ga fhàgail na phàirt riatanach airson làimhseachadh wafer ann an àrainneachdan dùbhlanach àrd-teòthachd.
Tha anPaddle silicon carbideair a thogail gus seasamh ri fìor chuairtean teirmeach fhad ‘s a chumas e ionracas structarail, a’ dèanamh cinnteach à còmhdhail wafer earbsach aig ìrean deatamach de chinneasachadh semiconductor. Le neart meacanaigeach nas fheàrr, seobàta wafera’ lughdachadh cunnart milleadh air wafers, a’ leantainn gu toradh nas àirde agus càileachd toraidh cunbhalach.
Tha aon de na prìomh innleachdan ann am pleadhag SiC Semicera na laighe anns na roghainnean dealbhaidh àbhaisteach aige. Air a dhealbhadh gus coinneachadh ri feumalachdan cinneasachaidh sònraichte, tha am pleadhag a’ tabhann sùbailteachd ann an amalachadh le diofar shuidheachaidhean uidheamachd, ga dhèanamh na fhìor fhuasgladh airson pròiseasan saothrachaidh an latha an-diugh. Tha an togail aotrom ach làidir a’ comasachadh làimhseachadh furasta agus a’ lughdachadh ùine downt obrachaidh, a’ cur ri èifeachdas nas fheàrr ann an cinneasachadh semiconductor.
A bharrachd air na feartan teirmeach agus meacanaigeach aige, tha anPaddle silicon carbidea ’tabhann sàr-aghaidh ceimigeach, a’ leigeil leis coileanadh gu earbsach eadhon ann an àrainneachdan ceimigeach cruaidh. Tha seo ga dhèanamh gu sònraichte freagarrach airson a chleachdadh ann am pròiseasan a tha a’ toirt a-steach sgrìobadh, tasgadh, agus làimhseachadh aig teòthachd àrd, far a bheil cumail suas ionracas a’ bhàta wafer deatamach airson dèanamh cinnteach à toraidhean àrd-inbhe.
Feartan fiosaigeach ath-chriostalachadh Silicon Carbide | |
Seilbh | Luach àbhaisteach |
Teòthachd obrach (°C) | 1600 ° C (le ocsaidean), 1700 ° C (a 'lùghdachadh àrainneachd) |
Susbaint SiC | > 99.96% |
Susbaint Si saor an asgaidh | < 0.1% |
Meud dùmhlachd | 2.60-2.70 g / cm3 |
Porosity follaiseach | < 16% |
Neart teannachaidh | > 600 mpa |
Neart cromadh fuar | 80-90 mpa (20 ° C) |
Neart cromadh teth | 90-100 mpa (1400 ° C) |
Leudachadh teirmeach @ 1500 ° C | 4.70 10-6/°C |
Giùlan teirmeach @ 1200 ° C | 23 W/m•K |
Modal elastic | 240 GPa |
Frith-aghaidh clisgeadh teirmeach | Air leth math |