Tha leud beàrn bann mòr aig stuth criostail singilte silicon carbide (SiC) (~ Si 3 tursan), giùlan teirmeach àrd (~ Si 3.3 uair no GaAs 10 tursan), ìre imrich sùghaidh dealanach àrd (~ Si 2.5 uair), briseadh sìos dealain raon (~ Si 10 tursan no GaAs 5 tursan) agus feartan sònraichte eile.
Tha buannachdan neo-sheasmhach aig innealan SiC ann an raon teòthachd àrd, bruthadh àrd, tricead àrd, innealan dealanach àrd-chumhachd agus fìor thagraidhean àrainneachd leithid aerospace, armachd, lùth niuclasach, msaa, a’ dèanamh suas airson easbhaidhean innealan stuthan semiconductor traidiseanta ann an practaigeach iarrtasan, agus mean air mhean a 'fàs mar phrìomh-shruth de cumhachd semiconductors.
Sònrachaidhean substrate 4H-SiC Silicon carbide
Nì 项目 | Sònrachaidhean 参数 | |
Polytype | 4H -SiC | 6H- SiC |
Trast-thomhas | 2 òirleach |3 òirlich |4 òirlich |6 òirlich | 2 òirleach |3 òirlich |4 òirlich |6 òirlich |
Tigheadas | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Giùlan | N - seòrsa / leth-insulation | N - seòrsa / leth-insulation |
Dopant | N2 (Nitrigin)V ( Vanadium ) | N2 (Nitrigin) V ( Vanadium ) |
Treòrachadh | Air an axis <0001> | Air an axis <0001> |
Resistivity | 0.015 ~ 0.03 ohm-cm | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
Dùmhlachd micropìoba (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TBh | ≤ 15 m | ≤ 15 m |
Bogha / Dlùth | ≤25m | ≤25m |
Uachdar | DSP/SSP | DSP/SSP |
Ìre | Ìre toraidh / rannsachaidh | Ìre toraidh / rannsachaidh |
Sreath cruachadh criostal | ABCB | ABCAB |
Paramadair leusair | a = 3.076A, c = 10.053A | a = 3.073A , c = 15.117A |
me/eV (beàrn-còmhlain) | 3.27 eV | 3.02 eV |
ε (Dielectric Constant) | 9.6 | 9.66 |
Clàr-innse Refraction | n0 =2.719 ne =2.777 | n0 =2.707 , ne =2.755 |
Sònrachaidhean substrate 6H-SiC Silicon Carbide
Nì 项目 | Sònrachaidhean 参数 |
Polytype | 6H-SiC |
Trast-thomhas | 4 òirlich |6 òirlich |
Tigheadas | 350μm ~ 450μm |
Giùlan | N - seòrsa / leth-insulation |
Dopant | N2 (Nitrigin) |
Treòrachadh | <0001> dheth 4°± 0.5° |
Resistivity | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
Dùmhlachd micropìoba (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TBh | ≤ 15 m |
Bogha / Dlùth | ≤25m |
Uachdar | Si Face: CMP, Epi-Ready |
Ìre | Ìre rannsachaidh |