Ann an raon teicneòlas dealanach an latha an-diugh, tha àite deatamach aig stuthan semiconductor.Nam measg, tha silicon carbide (SiC) mar stuth semiconductor beàrn bann farsaing, le na buannachdan coileanaidh sàr-mhath aige, leithid raon dealain briseadh àrd, astar sùghaidh àrd, seoltachd teirmeach àrd, msaa, a ’fàs mean air mhean mar fhòcas luchd-rannsachaidh agus innleadairean.Tha an diosc epitaxial silicon carbide, mar phàirt chudromach dheth, air comas tagraidh mòr a nochdadh.
一 、 coileanadh diosc epitaxial: làn bhuannachdan
1. Raon dealain briseadh fìor àrd: an coimeas ri stuthan traidiseanta sileaconach, tha an raon dealain briseadh sìos de silicon carbide còrr is 10 tursan.Tha seo a’ ciallachadh, fo na h-aon chumhachan bholtachd, gum faod innealan dealanach a’ cleachdadh diosc epitaxial silicon carbide seasamh ri sruthan nas àirde, agus mar sin a’ cruthachadh innealan dealanach àrd-bholtaid, àrd-tricead, àrd-chumhachd.
2. Astar sùghaidh àrd-luath: tha astar sùghaidh carbide silicon nas motha na 2 uair nas luaithe na sileaconach.Ag obair aig teòthachd àrd agus astar àrd, bidh an diosc epitaxial silicon carbide a ’coileanadh nas fheàrr, a tha gu mòr a’ leasachadh seasmhachd agus earbsachd innealan dealanach.
3. giùlan teirmeach àrd-èifeachdais: tha giùlan teirmeach carbide sileacain còrr is 3 tursan nas àirde na sileaconach.Leigidh am feart seo le innealan dealanach teas a sgaoileadh nas fheàrr rè obrachadh àrd-chumhachd leantainneach, mar sin a’ cur casg air cus teasachadh agus ag adhartachadh sàbhailteachd innealan.
4. Seasmhachd ceimigeach sàr-mhath: ann an àrainneachdan fìor leithid teòthachd àrd, bruthadh àrd agus rèididheachd làidir, tha coileanadh silicon carbide fhathast seasmhach mar a bha e roimhe.Tha am feart seo a’ toirt comas don diosc epitaxial silicon carbide coileanadh sàr-mhath a chumail an aghaidh àrainneachdan iom-fhillte.
二 、 pròiseas saothrachaidh: air a shnaigheadh gu faiceallach
Tha na prìomh phròiseasan airson diosc epitaxial SIC a dhèanamh a’ toirt a-steach tasgadh vapor corporra (PVD), tasgadh vapor ceimigeach (CVD) agus fàs epitaxial.Tha na feartan fhèin aig gach aon de na pròiseasan sin agus feumaidh iad smachd mionaideach air diofar pharaimearan gus na toraidhean as fheàrr a choileanadh.
1. Pròiseas PVD: Le falmhachadh no sputtering agus dòighean eile, tha an targaid SiC air a thasgadh air an t-substrate gus film a chruthachadh.Tha fìor-ghlanachd agus criostalachd math aig an fhilm a chaidh ullachadh leis an dòigh seo, ach tha an astar toraidh gu ìre mhath slaodach.
2. Pròiseas CVD: Le bhith a’ sgàineadh an stòr gas silicon carbide aig teòthachd àrd, tha e air a thasgadh air an t-substrate gus film tana a chruthachadh.Tha tiugh agus èideadh an fhilm a chaidh ullachadh leis an dòigh seo comasach a riaghladh, ach tha an purrachd agus an criostalachd truagh.
3. Fàs epitaxial: fàs còmhdach epitaxial SiC air silicon monocrystalline no stuthan monocrystalline eile tro dhòigh tasgaidh ceimigeach ceimigeach.Tha deagh mhaidseadh agus coileanadh sàr-mhath aig an ìre epitaxial a chaidh ullachadh leis an dòigh seo leis an stuth substrate, ach tha a’ chosgais gu math àrd.
三 、 Ro-shealladh tagraidh: Soillsich an àm ri teachd
Le leasachadh leantainneach air teicneòlas dealanach cumhachd agus an t-iarrtas a tha a’ sìor fhàs airson innealan dealanach àrd-choileanadh agus earbsachd àrd, tha dùil tagraidh farsaing aig diosc epitaxial silicon carbide ann an saothrachadh innealan semiconductor.Tha e air a chleachdadh gu bitheanta ann a bhith a 'dèanamh àrd-tricead àrd-chumhachd semiconductor innealan, leithid cumhachd eileagtronaigeach suidse, inverters, rectifiers, etc.
Leis na buannachdan coileanaidh sònraichte aige agus leasachadh leantainneach air a ’phròiseas saothrachaidh, tha diosc epitaxial silicon carbide a’ nochdadh mean air mhean a chomas mòr anns an raon semiconductor.Tha adhbhar againn a bhith a’ creidsinn gum bi àite nas cudromaiche aig saidheans agus teicneòlas san àm ri teachd.
Ùine puist: Samhain-28-2023