Wafer substrate SiC seòrsa P

Tuairisgeul goirid:

Tha SiC Substrate Wafer aig Semicera air innleachadh airson tagraidhean dealanach agus optoelectronic adhartach. Tha na wafers sin a’ toirt seachad giùlan sònraichte agus seasmhachd teirmeach, gan dèanamh air leth freagarrach airson innealan àrd-choileanaidh. Le Semicera, bi an dùil ri mionaideachd agus earbsachd anns na wafers substrate SiC P-seòrsa agad.


Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha SiC Substrate Wafer aig Semicera na phrìomh phàirt ann a bhith a’ leasachadh innealan adhartach dealanach agus optoelectronic. Tha na wafers sin air an dealbhadh gu sònraichte gus coileanadh nas fheàrr a thoirt seachad ann an àrainneachdan àrd-chumhachd agus teòthachd àrd, a’ toirt taic don iarrtas a tha a’ sìor fhàs airson co-phàirtean èifeachdach is seasmhach.

Bidh dopadh seòrsa P anns na wafers SiC againn a’ dèanamh cinnteach à giùlan dealain nas fheàrr agus gluasad luchd-giùlain cosgais. Tha seo gan dèanamh gu sònraichte freagarrach airson tagraidhean ann an electronics cumhachd, LEDs, agus ceallan photovoltaic, far a bheil call cumhachd ìosal agus àrd-èifeachdas deatamach.

Air an dèanamh leis na h-ìrean as àirde de chruinneas agus càileachd, tha wafers SiC de sheòrsa P Semicera a’ tabhann èideadh uachdar sàr-mhath agus ìrean as ìsle de lochdan. Tha na feartan sin deatamach do ghnìomhachasan far a bheil cunbhalachd agus earbsachd riatanach, leithid roinnean aerospace, càraichean agus lùth ath-nuadhachail.

Tha dealas Semicera a thaobh ùr-ghnàthachadh agus sàr-mhathas ri fhaicinn anns an t-seòrsa P-seòrsa SiC Substrate Wafer againn. Le bhith ag amalachadh na wafers sin a-steach don phròiseas cinneasachaidh agad, bidh thu a’ dèanamh cinnteach gum faigh na h-innealan agad buannachd bho fheartan teirmeach is dealain sònraichte SiC, a leigeas leotha obrachadh gu h-èifeachdach fo chumhachan dùbhlanach.

Tha a bhith a’ tasgadh ann an SiC Substrate Wafer de sheòrsa P aig Semicera a’ ciallachadh a bhith a’ taghadh toradh a tha a’ cothlamadh saidheans stuthan ùr-nodha le innleadaireachd mhionaideach. Tha Semicera gu sònraichte airson taic a thoirt don ath ghinealach de theicneòlasan dealanach agus optoelectronic, a’ toirt seachad na pàirtean riatanach a tha riatanach airson do shoirbheachadh sa ghnìomhachas semiconductor.

Nithean

Riochdachadh

Rannsachadh

Dummy

Paramadairean criostal

Polytype

4H

Mearachd treòrachadh uachdar

<11-20>4±0.15°

Paramadairean dealain

Dopant

n-seòrsa Nitrigin

Resistivity

0.015-0.025ohm·cm

Paramadairean meacanaigeach

Trast-thomhas

150.0±0.2mm

Tigheadas

350±25 m

Prìomh stiùireadh còmhnard

[1-100]±5°

Prìomh fhad còmhnard

47.5±1.5mm

Flat àrd-sgoile

Chan eil gin

TBh

≤5m

≤10m

≤15 m

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Bogha

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35m

≤45m

≤55m

Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structar

Dùmhlachd micropìoba

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Neo-dhìomhaireachd meatailt

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Càileachd aghaidh

Aghaidh

Si

Crìoch air uachdar

Si-aghaidh CMP

Pàirtean

≤60ea / wafer (meud≥0.3μm)

NA

sgrìoban

≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas

Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas

NA

Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh

Chan eil gin

NA

Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex

Chan eil gin

Sgìrean polytype

Chan eil gin

Raon cruinnichte≤20%

Raon cruinnichte≤30%

Comharrachadh laser aghaidh

Chan eil gin

Càileachd air ais

Crìoch air ais

C-aghaidh CMP

sgrìoban

≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas

NA

Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent)

Chan eil gin

Cùl garbh

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Comharrachadh laser cùil

1 mm (bhon oir as àirde)

Oir

Oir

Chamfer

Pacadh

Pacadh

Epi-deiseil le pacadh falamh

Pacadh cassette ioma-wafer

* Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD.

tech_1_2_meud
wafers SiC

  • Roimhe:
  • Air adhart: