Wafer substrate SiC seòrsa P

Tuairisgeul goirid:

Tha SiC Substrate Wafer Semicera seòrsa P air innleachadh airson tagraidhean dealanach agus optoelectronic adhartach. Tha na wafers sin a’ toirt seachad giùlan sònraichte agus seasmhachd teirmeach, gan dèanamh air leth freagarrach airson innealan àrd-choileanaidh. Le Semicera, bi an dùil ri mionaideachd agus earbsachd anns na wafers substrate SiC P-seòrsa agad.


Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Tha SiC Substrate Wafer aig Semicera na phrìomh phàirt ann a bhith a’ leasachadh innealan adhartach dealanach agus optoelectronic. Tha na wafers sin air an dealbhadh gu sònraichte gus coileanadh nas fheàrr a thoirt seachad ann an àrainneachdan àrd-chumhachd agus teòthachd àrd, a’ toirt taic don iarrtas a tha a’ sìor fhàs airson co-phàirtean èifeachdach is seasmhach.

Bidh dopadh seòrsa P anns na wafers SiC againn a’ dèanamh cinnteach à giùlan dealain nas fheàrr agus gluasad luchd-giùlain cosgais. Tha seo gan dèanamh gu sònraichte freagarrach airson tagraidhean ann an electronics cumhachd, LEDs, agus ceallan photovoltaic, far a bheil call cumhachd ìosal agus àrd-èifeachdas deatamach.

Air an dèanamh leis na h-ìrean as àirde de chruinneas agus càileachd, tha wafers SiC de sheòrsa P Semicera a’ tabhann èideadh uachdar sàr-mhath agus ìrean as ìsle de lochdan. Tha na feartan sin deatamach do ghnìomhachasan far a bheil cunbhalachd agus earbsachd riatanach, leithid roinnean aerospace, càraichean agus lùth ath-nuadhachail.

Tha dealas Semicera a thaobh ùr-ghnàthachadh agus sàr-mhathas ri fhaicinn anns an t-seòrsa P-seòrsa SiC Substrate Wafer againn. Le bhith ag amalachadh na wafers sin a-steach don phròiseas cinneasachaidh agad, bidh thu a’ dèanamh cinnteach gum faigh na h-innealan agad buannachd bho fheartan teirmeach is dealain sònraichte SiC, a leigeas leotha obrachadh gu h-èifeachdach fo chumhachan dùbhlanach.

Tha a bhith a’ tasgadh ann an SiC Substrate Wafer de sheòrsa P aig Semicera a’ ciallachadh a bhith a’ taghadh toradh a tha a’ cothlamadh saidheans stuthan ùr-nodha le innleadaireachd mhionaideach. Tha Semicera gu sònraichte airson taic a thoirt don ath ghinealach de theicneòlasan dealanach agus optoelectronic, a’ toirt seachad na pàirtean riatanach a tha riatanach airson do shoirbheachadh sa ghnìomhachas semiconductor.

Nithean

Riochdachadh

Rannsachadh

Dummy

Paramadairean criostal

Polytype

4H

Mearachd treòrachadh uachdar

<11-20>4±0.15°

Paramadairean dealain

Dopant

n-seòrsa Nitrigin

Resistivity

0.015-0.025ohm·cm

Paramadairean meacanaigeach

Trast-thomhas

150.0±0.2mm

Tigheadas

350±25 m

Prìomh stiùireadh còmhnard

[1-100]±5°

Prìomh fhad còmhnard

47.5±1.5mm

Flat àrd-sgoile

Chan eil gin

TBh

≤5 m

≤10m

≤15 m

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Bogha

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35m

≤45m

≤55m

Garbhachd aghaidh (Si-face) (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Structar

Dùmhlachd micropìoba

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 ea/cm2

Neo-dhìomhaireachd meatailt

≤5E10atoms/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Càileachd aghaidh

Aghaidh

Si

Crìoch air uachdar

Si-aghaidh CMP

Pàirtean

≤60ea / wafer (meud≥0.3μm)

NA

sgrìoban

≤5ea/mm. Faid tionalach ≤ Trast-thomhas

Fad cruinn ≤2 * Trast-thomhas

NA

Peel orains / slocan / stains / strìopachas / sgàinidhean / truailleadh

Chan eil gin

NA

Sgoltagan iomall / indent / bristeadh / truinnsearan hex

Chan eil gin

Sgìrean polytype

Chan eil gin

Raon cruinnichte≤20%

Raon cruinnichte≤30%

Comharrachadh laser aghaidh

Chan eil gin

Càileachd air ais

Crìoch air ais

C-aghaidh CMP

sgrìoban

≤5ea/mm, Fad mean air mhean≤2 * Trast-thomhas

NA

Duilgheadasan cùil (sgoltagan iomall / indent)

Chan eil gin

Cùl garbh

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Comharrachadh laser cùil

1 mm (bhon oir as àirde)

Oir

Oir

Chamfer

Pacadh

Pacadh

Epi-deiseil le pacadh falamh

Pacadh cassette ioma-wafer

* Notaichean: Tha “NA” a’ ciallachadh nach eil iarrtas sam bith ann Faodaidh stuthan nach deach ainmeachadh iomradh a thoirt air SEMI-STD.

tech_1_2_meud
wafers SiC

  • Roimhe:
  • Air adhart: