Tha leud beàrn bann mòr aig stuth criostail singilte silicon carbide (SiC) (~ Si 3 tursan), giùlan teirmeach àrd (~ Si 3.3 uair no GaAs 10 tursan), ìre imrich sùghaidh dealanach àrd (~ Si 2.5 uair), briseadh sìos dealain raon (~ Si 10 tursan no GaAs 5 tursan) agus feartan sònraichte eile.
Tha buannachdan neo-sheasmhach aig innealan SiC ann an raon teòthachd àrd, bruthadh àrd, tricead àrd, innealan dealanach àrd-chumhachd agus fìor thagraidhean àrainneachd leithid aerospace, armachd, lùth niuclasach, msaa, a’ dèanamh suas airson easbhaidhean innealan stuthan semiconductor traidiseanta ann an practaigeach iarrtasan, agus mean air mhean a’ fàs mar phrìomh-shruth de chumhachd semiconductors.
Sònrachaidhean substrate 4H-SiC Silicon carbide
Nì 项目 | Sònrachaidhean 参数 | |
Polytype | 4H -SiC | 6H- SiC |
Trast-thomhas | 2 òirleach | 3 òirlich | 4 òirlich | 6 òirlich | 2 òirleach | 3 òirlich | 4 òirlich | 6 òirlich |
Tigheadas | 330 μm ~ 350 μm | 330 μm ~ 350 μm |
Giùlan | N - seòrsa / leth-insulation | N - seòrsa / leth-insulation |
Dopant | N2 (Nitrigin)V ( Vanadium ) | N2 (Nitrigin) V ( Vanadium ) |
Treòrachadh | Air an axis <0001> | Air an axis <0001> |
Resistivity | 0.015 ~ 0.03 ohm-cm | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
Dùmhlachd micropìoba (MPD) | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 | ≤10/cm2 ~ ≤1/cm2 |
TBh | ≤ 15 m | ≤ 15 m |
Bogha / Dlùth | ≤25m | ≤25m |
Uachdar | DSP/SSP | DSP/SSP |
Ìre | Ìre toraidh / rannsachaidh | Ìre toraidh / rannsachaidh |
Sreath cruachadh criostal | ABCB | ABCAB |
Paramadair leusair | a = 3.076A, c = 10.053A | a = 3.073A , c = 15.117A |
me/eV (beàrn-còmhlain) | 3.27 eV | 3.02 eV |
ε (Dielectric Constant) | 9.6 | 9.66 |
Clàr-innse Refraction | n0 =2.719 ne =2.777 | n0 =2.707 , ne =2.755 |
Sònrachaidhean substrate 6H-SiC Silicon Carbide
Nì 项目 | Sònrachaidhean 参数 |
Polytype | 6H-SiC |
Trast-thomhas | 4 òirlich | 6 òirlich |
Tigheadas | 350μm ~ 450μm |
Giùlan | N - seòrsa / leth-insulation |
Dopant | N2 (Nitrigin) |
Treòrachadh | <0001> dheth 4°± 0.5° |
Resistivity | 0.02 ~ 0.1 ohm-cm |
Dùmhlachd micropìoba (MPD) | ≤ 10/cm2 |
TBh | ≤ 15 m |
Bogha / Dlùth | ≤25m |
Uachdar | Si Face: CMP, Epi-Ready |
Ìre | Ìre rannsachaidh |