Is e còmhdach ocsaid no còmhdach silica a th’ ann an còmhdach teirmeach ocsaid de wafer sileacain a chaidh a chruthachadh air uachdar lom wafer sileacain fo chumhachan teòthachd àrd le àidseant oxidizing.Mar as trice bidh an còmhdach teirmeach ocsaid de wafer sileaconach air fhàs ann am fùirneis tiùba còmhnard, agus mar as trice tha an raon teòthachd fàis 900 ° C ~ 1200 ° C, agus tha dà dhòigh fàis ann de "oxidation fliuch" agus "oxidation tioram".Tha an còmhdach teirmeach ocsaid na chòmhdach ogsaid “fàs” aig a bheil aon-ghnè nas àirde agus neart dielectric nas àirde na an còmhdach ocsaid tasgaidh CVD.Tha an còmhdach teirmeach ocsaid na shàr shreath dielectric mar insuladair.Ann am mòran innealan stèidhichte air silicon, tha àite cudromach aig an ìre teirmeach ocsaid mar fhilleadh bacaidh dopaidh agus uachdar dielectric.
Molaidhean: Seòrsa oxidation
1. Ocsaideanachadh tioram
Bidh an silicon ag ath-fhreagairt le ocsaidean, agus bidh an còmhdach ogsaid a’ gluasad a dh’ ionnsaigh an t-sreath basal.Feumar oxidation tioram a dhèanamh aig teòthachd 850 gu 1200 ° C, agus tha an ìre fàis ìosal, a dh'fhaodar a chleachdadh airson fàs geata insulation MOS.Nuair a tha feum air còmhdach silicon ocsaid àrd-inbheach, is fheàrr le oxidation tioram seach oxidation fliuch.
Comas oxidation tioram: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. Wet oxidation
Bidh an dòigh seo a’ cleachdadh measgachadh de hydrogen agus ocsaidean fìor-ghlan airson losgadh aig ~ 1000 ° C, agus mar sin a’ toirt a-mach ceò uisge gus còmhdach ogsaid a chruthachadh.Ged nach urrainn dha oxidation fliuch còmhdach oxidation de chàileachd àrd a thoirt gu buil mar oxidation tioram, ach gu leòr airson a chleachdadh mar raon aonaranachd, an taca ri oxidation tioram tha buannachd shoilleir aige gu bheil ìre fàis nas àirde aige.
Comas oxidation fliuch: 50nm ~ 15µm (500A ~ 15µm)
3. Modh tioram - modh fliuch - modh tioram
Anns an dòigh seo, thèid ocsaidean fìor-thioram a leigeil ma sgaoil a-steach don fhùirneis oxidation aig a ’chiad ìre, thèid hydrogen a chuir ris ann am meadhan an oxidation, agus tha hydrogen air a stòradh aig a’ cheann thall gus leantainn air adhart leis an oxidation le ocsaidean fìor thioram gus structar oxidation nas dùmhail a chruthachadh na am pròiseas oxidation fliuch cumanta ann an cruth smùid uisge.
4. TEOS oxidation
| Teicneòlas oxidation | Ocsaideanachadh fliuch no oxidation tioram |
| Trast-thomhas | 2 ″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| Sgòthan Oxide | 100 Å ~ 15µm |
| Fulangas | +/- 5% |
| Uachdar | Singilte Taobh Oxidation (SSO) / Dùbailte Taobh Oxidation (DSO) |
| Fùirneis | Fùirneis tiùba còmhnard |
| Gas | Gas haidridean agus ocsaidean |
| Teòthachd | 900 ℃ ~ 1200 ℃ |
| Clàr-innse ath-bheòthail | 1. 456 |
