Luchd-giùlan wafer epitaxial còmhdaichte le TaCmar as trice air an cleachdadh ann a bhith ag ullachadh innealan optoelectronic àrd-choileanadh, innealan cumhachd, mothachairean agus raointean eile. Seogiùlan wafer epitaxiala’ toirt iomradh air tasgadhTaCfilm tana air an t-substrate tron phròiseas fàs criostail gus wafer a chruthachadh le structar sònraichte agus coileanadh airson ullachadh innealan às deidh sin.
Mar as trice bithear a’ cleachdadh teicneòlas tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD) airson ullachadhLuchd-giùlan wafer epitaxial còmhdaichte le TaC. Le bhith ag ath-fhreagairt ro-ruitheadairean organach meatailt agus gasaichean stòr gualain aig teòthachd àrd, faodar film TaC a thasgadh air uachdar an t-substrate criostail. Faodaidh feartan dealain, optigeach agus meacanaigeach sàr-mhath a bhith aig an fhilm seo agus tha e freagarrach airson grunn innealan àrd-choileanaidh ullachadh.
Bidh Semicera a’ toirt seachad còmhdach sònraichte tantalum carbide (TaC) airson diofar phàirtean agus luchd-giùlan.Tha pròiseas còmhdach adhartach Semicera a’ comasachadh còmhdach tantalum carbide (TaC) gus purrachd àrd, seasmhachd teòthachd àrd agus fulangas ceimigeach àrd a choileanadh, ag adhartachadh càileachd toraidh criostalan SIC / GAN agus sreathan EPI (Susceptor TaC còmhdaichte le graphite), agus a’ leudachadh beatha nam prìomh phàirtean reactair. Tha cleachdadh còmhdach tantalum carbide TaC gus fuasgladh fhaighinn air an duilgheadas iomall agus càileachd fàs criostail a leasachadh, agus tha Semicera air adhartas mòr a dhèanamh gus teicneòlas còmhdach tantalum carbide (CVD) fhuasgladh, a’ ruighinn ìre adhartach eadar-nàiseanta.
Às deidh bliadhnaichean de leasachadh, tha Semicera air buaidh a thoirt air teicneòlas aigCVD TaCle co-oidhirpean na roinne R&D. Tha e furasta lochdan nochdadh ann am pròiseas fàis wafers SiC, ach às deidh an cleachdadhTaC, tha an diofar cudromach. Gu h-ìosal tha coimeas eadar wafers le agus às aonais TaC, a bharrachd air pàirtean Simicera airson fàs criostail singilte.
le agus as aonais TaC
Às deidh dhut TaC a chleachdadh (deas)
A bharrachd air an sin, tha Semicera'sBathar còmhdaichte le TaCtaisbeanadh beatha seirbheis nas fhaide agus barrachd strì an aghaidh teòthachd àrd an taca ricòmhdach SiC.Tha tomhasan obair-lann air dearbhadh gu bheil arcòmhdach TaCcomasach air coileanadh gu cunbhalach aig teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius airson amannan fada. Gu h-ìosal tha eisimpleirean de na sampallan againn:
