Cearcallan treòrachaidh grafait còmhdaichte le TaCthoir iomradh air tasgadh sreath tana decarbide tantalumair uachdar fàinne treòrachaidh grafait gus an aghaidh caitheamh, an aghaidh teòthachd àrd agus seasmhachd ceimigeach a leasachadh. Mar as trice bidh an còmhdach seo air a chruthachadh air uachdar fàinne treòrachaidh grafait le dòighean leithid tasgadh vapor corporra (PVD) no tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD).
Bidh Semicera a’ toirt seachad còmhdach sònraichte tantalum carbide (TaC) airson diofar phàirtean agus luchd-giùlan.Tha pròiseas còmhdach adhartach Semicera a’ comasachadh còmhdach tantalum carbide (TaC) gus purrachd àrd, seasmhachd teòthachd àrd agus fulangas ceimigeach àrd a choileanadh, ag adhartachadh càileachd toraidh criostalan SIC / GAN agus sreathan EPI (Susceptor TaC còmhdaichte le graphite), agus a’ leudachadh beatha nam prìomh phàirtean reactair. Tha cleachdadh còmhdach tantalum carbide TaC gus fuasgladh fhaighinn air an duilgheadas iomall agus càileachd fàs criostail a leasachadh, agus tha Semicera air adhartas mòr a dhèanamh gus teicneòlas còmhdach tantalum carbide (CVD) fhuasgladh, a’ ruighinn ìre adhartach eadar-nàiseanta.
Às deidh bliadhnaichean de leasachadh, tha Semicera air buaidh a thoirt air teicneòlas aigCVD TaCle co-oidhirpean na roinne R&D. Tha e furasta lochdan nochdadh ann am pròiseas fàis wafers SiC, ach às deidh an cleachdadhTaC, tha an diofar cudromach. Gu h-ìosal tha coimeas eadar wafers le agus às aonais TaC, a bharrachd air pàirtean Simicera airson fàs criostail singilte.
Am measg nam prìomh fheartan aig fàinneachan treòrachaidh grafait còmhdaichte le TaC tha:
1. Frith-aghaidh teòthachd àrd: Tha seasmhachd àrd teòthachd àrd aig còmhdach TaC agus faodaidh e seasmhachd a chumail ann an àrainneachdan teòthachd àrd.
2. Cur an aghaidh caitheamh: Tha cruas àrd an t-sreath tana tantalum carbide a’ toirt deagh neart caitheamh don fhàinne stiùiridh agus a’ leudachadh a beatha seirbheis.
3. Seasmhachd ceimigeach: Tha seasmhachd àrd aig còmhdach TaC an aghaidh corrach ceimigeach, ga dhèanamh freagarrach airson tagraidhean ann an cuid de mheadhanan creimneach.
4. Lùghdaich suathadh: Faodaidh còmhdach TaC an suathadh eadar an fhàinne treòrachaidh grafait agus co-phàirtean eile a lughdachadh gu h-èifeachdach agus èifeachdas ròin meacanaigeach a leasachadh.
le agus as aonais TaC
Às deidh dhut TaC a chleachdadh (deas)
A bharrachd air an sin, tha Semicera'sBathar còmhdaichte le TaCtaisbeanadh beatha seirbheis nas fhaide agus barrachd strì an aghaidh teòthachd àrd an taca ricòmhdach SiC.Tha tomhasan obair-lann air dearbhadh gu bheil arcòmhdach TaCcomasach air coileanadh gu cunbhalach aig teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius airson amannan fada. Gu h-ìosal tha eisimpleirean de na sampallan againn:
