Susceptor còmhdaichte le Tantalum carbide (TaC) airson Uidheam Epitaxy

Susceptor còmhdaichte le Tantalum carbide (TaC) airson Ìomhaigh le Uidheam Epitaxy

Tuairisgeul goirid:

Tha graphite na stuth àrd-teòthachd sàr-mhath, ach bidh e a’ oxidachadh gu furasta aig teòthachd àrd. Fiù 's ann an fùirneisean falamh le gas inert, faodaidh e fhathast a dhol tro oxidation slaodach. Le bhith a’ cleachdadh còmhdach CVD tantalum carbide (TaC) faodaidh e an t-substrate grafait a dhìon gu h-èifeachdach, a’ toirt seachad an aon neart àrd-teòthachd ri grafait. Tha TaC cuideachd na stuth inert, a’ ciallachadh nach obraich e le gasaichean leithid argon no hydrogen aig teòthachd àrd.Susceptor còmhdaichte Tantalum carbide (TaC) airson Uidheam Epitaxy a-nis!

Cuir post-d thugainn

Mion-fhiosrachadh toraidh

Bathar Tags

Bidh Semicera a’ toirt seachad còmhdach sònraichte tantalum carbide (TaC) airson diofar phàirtean agus luchd-giùlan.Tha pròiseas còmhdach adhartach Semicera a’ comasachadh còmhdach tantalum carbide (TaC) gus purrachd àrd, seasmhachd teòthachd àrd agus fulangas ceimigeach àrd a choileanadh, ag adhartachadh càileachd toraidh criostalan SIC / GAN agus sreathan EPI (Susceptor TaC còmhdaichte le graphite), agus a’ leudachadh beatha nam prìomh phàirtean reactair. Tha cleachdadh còmhdach tantalum carbide TaC gus fuasgladh fhaighinn air an duilgheadas iomall agus càileachd fàs criostail a leasachadh, agus tha Semicera air adhartas mòr a dhèanamh gus teicneòlas còmhdach tantalum carbide (CVD) fhuasgladh, a’ ruighinn ìre adhartach eadar-nàiseanta.

Às deidh bliadhnaichean de leasachadh, tha Semicera air buaidh a thoirt air teicneòlas aigCVD TaCle co-oidhirpean na roinne R&D. Tha e furasta lochdan nochdadh ann am pròiseas fàis wafers SiC, ach às deidh an cleachdadhTaC, tha an diofar cudromach. Gu h-ìosal tha coimeas eadar wafers le agus às aonais TaC, a bharrachd air pàirtean Simicera airson fàs criostail singilte.

Còmhdach carbide tantalum àrd-èifeachdais_ leasaich èifeachdas cinneasachaidh gnìomhachais agus lughdaich cosgaisean cumail suas Ìomhaigh sònraichte

Pàirt tac airson fàs criostal singilte

Còmhdach carbide tantalum antiwear_ A’ dìon uidheamachd bho chaitheamh is creimeadh Ìomhaigh sònraichte

Graphite le fàinne còmhdaichte le TaC

le agus as aonais TaC

Às deidh dhut TaC a chleachdadh (deas)

A bharrachd air an sin, tha Semicera'sBathar còmhdaichte le TaCtaisbeanadh beatha seirbheis nas fhaide agus barrachd strì an aghaidh teòthachd àrd an taca ricòmhdach SiC.Tha tomhasan obair-lann air dearbhadh gu bheil arcòmhdach TaCcomasach air coileanadh gu cunbhalach aig teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius airson amannan fada. Gu h-ìosal tha eisimpleirean de na sampallan againn: