còmhdach TaCna chòmhdach stuth cudromach, a bhios mar as trice air ullachadh air bunait grafait le teicneòlas tasgadh vapor ceimigeach organach meatailt (MOCVD). Tha feartan sàr-mhath aig a ’chòmhdach seo, leithid cruas àrd, caitheamh caitheamh sàr-mhath, strì an aghaidh teòthachd àrd agus seasmhachd ceimigeach, agus tha e freagarrach airson grunn thagraidhean innleadaireachd àrd-iarrtas.
Tha teicneòlas MOCVD na theicneòlas fàs film tana a thathas a’ cleachdadh gu cumanta a bhios a ’tasgadh am film toinnte a tha thu ag iarraidh air uachdar an t-substrate le bhith ag ath-bhualadh ro-ruitheadairean organach meatailt le gasaichean reactive aig teòthachd àrd. Nuair a bhios ag ullachadhcòmhdach TaC, a’ taghadh ro-ruitheadairean organach meatailt iomchaidh agus stòran gualain, a’ cumail smachd air suidheachaidhean freagairt agus paramadairean tasgaidh, faodar film TaC èideadh agus tiugh a thasgadh air bunait grafait.
Bidh Semicera a’ toirt seachad còmhdach sònraichte tantalum carbide (TaC) airson diofar phàirtean agus luchd-giùlan.Tha pròiseas còmhdach adhartach Semicera a’ comasachadh còmhdach tantalum carbide (TaC) gus purrachd àrd, seasmhachd teòthachd àrd agus fulangas ceimigeach àrd a choileanadh, ag adhartachadh càileachd toraidh criostalan SIC / GAN agus sreathan EPI (Susceptor TaC còmhdaichte le graphite), agus a’ leudachadh beatha nam prìomh phàirtean reactair. Tha cleachdadh còmhdach tantalum carbide TaC gus fuasgladh fhaighinn air an duilgheadas iomall agus càileachd fàs criostail a leasachadh, agus tha Semicera air adhartas mòr a dhèanamh gus teicneòlas còmhdach tantalum carbide (CVD) fhuasgladh, a’ ruighinn ìre adhartach eadar-nàiseanta.
Às deidh bliadhnaichean de leasachadh, tha Semicera air buaidh a thoirt air teicneòlas aigCVD TaCle co-oidhirpean na roinne R&D. Tha e furasta lochdan nochdadh ann am pròiseas fàis wafers SiC, ach às deidh an cleachdadhTaC, tha an diofar cudromach. Gu h-ìosal tha coimeas eadar wafers le agus às aonais TaC, a bharrachd air pàirtean Simicera airson fàs criostail singilte.
le agus as aonais TaC
Às deidh dhut TaC a chleachdadh (deas)
A bharrachd air an sin, tha Semicera'sBathar còmhdaichte le TaCtaisbeanadh beatha seirbheis nas fhaide agus barrachd strì an aghaidh teòthachd àrd an taca ricòmhdach SiC.Tha tomhasan obair-lann air dearbhadh gu bheil arcòmhdach TaCcomasach air coileanadh gu cunbhalach aig teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius airson amannan fada. Gu h-ìosal tha eisimpleirean de na sampallan againn:
