Clàr còmhdaichte le Tantalum Carbide

Is e diosc sònraichte a th’ ann an TaC Coated Plate a chaidh a dhealbhadh airson a chleachdadh ann am pròiseasan epitaxial SiC, air a chiùradh le mionaideachd bho stuth grafait àrd-inbhe. Tha an uachdar aige air a chòmhdach gu faiceallach le tantalum carbide (TaC), todhar a tha ainmeil airson a ghlanachd agus a neart sònraichte. Bidh an còmhdach TaC a’ neartachadh seasmhachd a ’phlàta agus an aghaidh teòthachd àrd, ga dhèanamh air leth freagarrach airson suidheachaidhean dùbhlanach pròiseasan epitaxial SiC.

Tha an TaC Coated Plate ùr-ghnàthach seo na diosc sònraichte a chaidh a dhealbhadh airson a chleachdadh ann am pròiseasan epitaxial SiC, air a chiùradh le mionaideachd bho stuth grafait àrd-inbhe. Tha uachdar TaC Coated Plate air a chòmhdach gu faiceallach le tantalum carbide (TaC), todhar a tha ainmeil airson a ghlanachd agus a neart sònraichte. a’ frithealadh mar àrd-ùrlar earbsach airson wafers a ghiùlan aig diofar ìrean de fhàs epitaxial SiC. Tha a bhunait grafait àrd-ghlan a ’toirt seachad uachdar seasmhach agus inert, fhad‘ s a tha an còmhdach TaC a ’cur còmhdach a bharrachd de dhìon an aghaidh ath-bheachdan ceimigeach agus caitheamh.

SemiclinnTha TaC Coated Plate air a ghnàthachadh a rèir riatanasan sònraichte an luchd-ceannach, a’ dèanamh cinnteach à coileanadh as fheàrr agus co-chòrdalachd leis na siostaman epitaxial SiC aca. Ge bith an e meud, cumadh no mion-chomharrachadh eile a th’ ann, tha na truinnsearan sin air an dealbhadh gus coinneachadh ri feumalachdan sònraichte gach tagradh.