Plàta taic susceptor còmhdaichte le Tantalum carbidea tha ann an susceptor no structar taic a tha còmhdaichte le sreath tana decarbide tantalum. Faodar an còmhdach seo a chruthachadh air uachdar an t-suipear le dòighean leithid tasgadh bhalbhaichean corporra (PVD) no tasgadh bhalbhaichean ceimigeach (CVD), a’ toirt feartan nas fheàrr don neach-gabhail.carbide tantalum.
Bidh Semicera a’ toirt seachad còmhdach sònraichte tantalum carbide (TaC) airson diofar phàirtean agus luchd-giùlan.Tha pròiseas còmhdach adhartach Semicera a’ comasachadh còmhdach tantalum carbide (TaC) gus purrachd àrd, seasmhachd teòthachd àrd agus fulangas ceimigeach àrd a choileanadh, ag adhartachadh càileachd toraidh criostalan SIC / GAN agus sreathan EPI (Susceptor TaC còmhdaichte le graphite), agus a’ leudachadh beatha nam prìomh phàirtean reactair. Tha cleachdadh còmhdach tantalum carbide TaC gus fuasgladh fhaighinn air an duilgheadas iomall agus càileachd fàs criostail a leasachadh, agus tha Semicera air adhartas mòr a dhèanamh gus teicneòlas còmhdach tantalum carbide (CVD) fhuasgladh, a’ ruighinn ìre adhartach eadar-nàiseanta.
Às deidh bliadhnaichean de leasachadh, tha Semicera air buaidh a thoirt air teicneòlas aigCVD TaCle co-oidhirpean na roinne R&D. Tha e furasta lochdan nochdadh ann am pròiseas fàis wafers SiC, ach às deidh an cleachdadhTaC, tha an diofar cudromach. Gu h-ìosal tha coimeas eadar wafers le agus às aonais TaC, a bharrachd air pàirtean Simicera airson fàs criostail singilte.
Am measg nam prìomh fheartan aig lannan taic bonn còmhdaichte le tantalum carbide tha:
1. Seasmhachd teòthachd àrd: Tha seasmhachd teòthachd àrd sàr-mhath aig Tantalum carbide, a ’dèanamh a’ phlàta taic bonn còmhdaichte freagarrach airson feumalachdan taic ann an àrainneachdan obrach aig teòthachd àrd.
2. Frith-chreimeadh: Tha deagh sheasamh an aghaidh creimeadh aig còmhdach Tantalum carbide, faodaidh e seasamh an aghaidh creimeadh ceimigeach agus oxidation, agus leudachadh beatha seirbheis a’ bhunait.
3. Cruas àrd agus caitheamh caitheamh: Tha cruas àrd còmhdach tantalum carbide a’ toirt deagh neart caitheamh don phlàta taic bunaiteach, a tha freagarrach airson amannan a dh ’fheumas strì an aghaidh caitheamh àrd.
4. Seasmhachd ceimigeach: Tha seasmhachd àrd aig Tantalum carbide ri measgachadh de stuthan ceimigeach, a 'dèanamh a' phlàta taic bonn còmhdaichte a 'coileanadh gu math ann an cuid de àrainneachdan creimneach.
le agus as aonais TaC
Às deidh dhut TaC a chleachdadh (deas)
A bharrachd air an sin, tha Semicera'sBathar còmhdaichte le TaCtaisbeanadh beatha seirbheis nas fhaide agus barrachd strì an aghaidh teòthachd àrd an taca ricòmhdach SiC.Tha tomhasan obair-lann air dearbhadh gu bheil arcòmhdach TaCcomasach air coileanadh gu cunbhalach aig teòthachd suas gu 2300 ceum Celsius airson amannan fada. Gu h-ìosal tha eisimpleirean de na sampallan againn: