PÀIRT/1
Chaidh crucible, neach-gleidhidh sìol agus fàinne treòrachaidh ann an fùirneis criostail singilte SiC agus AIN fhàs le modh PVT
Mar a chithear ann am Figear 2 [1], nuair a thèid dòigh còmhdhail bhalbhaichean corporra (PVT) a chleachdadh gus SiC ullachadh, tha an criostal sìl anns an roinn teòthachd an ìre mhath ìosal, tha stuth amh SiC anns an roinn teòthachd coimeasach àrd (os cionn 2400℃), agus bidh an stuth amh a’ lobhadh gus SiXCy a thoirt gu buil (gu sònraichte a’ toirt a-steach Si, SiC₂, Si₂C, msaa).Tha an stuth ìre bhalbhaichean air a ghiùlan bhon roinn teòthachd àrd chun chriostail sìl anns an roinn teòthachd ìosal, forming nèimhean sìl, a’ fàs, agus a’ gineadh criostalan singilte.Bu chòir na stuthan achaidh teirmeach a thathar a’ cleachdadh sa phròiseas seo, leithid breusadh, fàinne treòrachaidh sruthadh, neach-gleidhidh criostal sìl, a bhith seasmhach ri teòthachd àrd agus cha bhith iad a’ truailleadh stuthan amh SiC agus criostalan singilte SiC.San aon dòigh, feumaidh na h-eileamaidean teasachaidh ann am fàs criostalan singilte AlN a bhith an aghaidh Al vapor, N₂creimeadh, agus feumaidh teòthachd àrd eutectic a bhith agad (le AlN) gus an ùine ullachaidh criostail a ghiorrachadh.
Chaidh a lorg gun do dh'ullaich an SiC[2-5] agus AlN[2-3] leTaC còmhdaichtebha stuthan achaidh teirmeach grafait nas glaine, cha mhòr gun ghualain (ogsaidean, nitrigin) agus neo-chunbhalachd eile, nas lugha de uireasbhaidhean oir, seasmhachd nas lugha anns gach roinn, agus chaidh dùmhlachd micropore agus dùmhlachd sloc sgudail a lughdachadh gu mòr (às deidh sgrìobadh KOH), agus càileachd criostal air a leasachadh gu mòr.A bharrachd air,crucible TaCtha ìre call cuideim cha mhòr neoni, tha coltas neo-sgriosail, faodar ath-chuairteachadh (beatha suas gu 200h), comasach air seasmhachd agus èifeachdas ullachadh criostail singilte mar sin a leasachadh.
FIG.2. (a) Diagram sgeamach de inneal fàs ingot criostal singilte SiC le modh PVT
(b) BarrTaC còmhdaichteraon sìol (a’ gabhail a-steach sìol SiC)
(c)Cearcall treòrachaidh grafait còmhdaichte le TAC
PÀIRT/2
Teasadair fàs còmhdach epitaxial MOCVD GaN
Mar a chithear ann am Figear 3 (a), tha fàs MOCVD GaN na theicneòlas tasgaidh ceò ceimigeach a’ cleachdadh ath-bhualadh lobhadh organometrical gus filmichean tana fhàs le fàs vapor epitaxial.Tha cruinneas teòthachd agus èideadh anns a’ chuan a ’dèanamh an teasadair gu bhith na phrìomh phàirt as cudromaiche de uidheamachd MOCVD.Co-dhiù an urrainnear an t-substrate a theasachadh gu sgiobalta agus gu co-ionnan airson ùine mhòr (fo fhuarachadh a-rithist), bheir an seasmhachd aig teòthachd àrd (seasamh an aghaidh creimeadh gas) agus purrachd an fhilm buaidh dhìreach air càileachd tasgadh film, cunbhalachd an tighead, agus coileanadh a’ chip.
Gus coileanadh agus èifeachdas ath-chuairteachaidh an teasadair ann an siostam fàis MOCVD GaN a leasachadh,còmhdaichte le TACchaidh teasadair grafait a thoirt a-steach gu soirbheachail.An coimeas ri còmhdach epitaxial GaN air fhàs le teasadair àbhaisteach (a’ cleachdadh còmhdach pBN), tha cha mhòr an aon structar criostal aig còmhdach epitaxial GaN a dh’ fhàs le teasadair TaC, èideadh tiugh, uireasbhaidhean gnèitheach, dopadh neo-sheasmhachd agus truailleadh.A bharrachd air an sin, tha ancòmhdach TaCtha resistivity ìosal agus emissivity uachdar ìosal, a dh’ fhaodadh èifeachdas agus èideadh an teasadair a leasachadh, agus mar sin a ’lughdachadh caitheamh cumhachd agus call teas.Faodar porosity a ’chòmhdaich atharrachadh le bhith a’ cumail smachd air paramadairean a ’phròiseas gus feartan rèididheachd an teasadair a leasachadh agus a bheatha seirbheis a leudachadh [5].Tha na buannachdan sin a 'dèanamhTaC còmhdaichteteasadairean grafait na dheagh roghainn airson siostaman fàis MOCVD GaN.
FIG.3. (a) Diagram sgeamach de dh'inneal MOCVD airson fàs epitaxial GaN
(b) Teasadair grafait le còmhdach TAC moulded air a chuir a-steach ann an suidheachadh MOCVD, ach a-mhàin bunait agus bracaid (dealbh a’ sealltainn bonn agus bracaid ann an teasachadh)
(c) Teasadair grafait còmhdaichte le TAC às deidh fàs epitaxial 17 GaN.[6]
PÀIRT/3
Susceptor còmhdaichte airson epitaxy (giùlan wafer)
Tha giùlan wafer na phàirt structarail cudromach airson ullachadh SiC, AlN, GaN agus wafers semiconductor treas clas eile agus fàs wafer epitaxial.Tha a’ mhòr-chuid de luchd-giùlan wafer air an dèanamh le grafait agus air an còmhdach le còmhdach SiC gus seasamh an aghaidh creimeadh bho ghasaichean pròiseas, le raon teòthachd epitaxial de 1100 gu 1600°C, agus tha pàirt deatamach aig strì an aghaidh a’ chòmhdach dìon ann am beatha neach-giùlan wafer.Tha na toraidhean a’ sealltainn gu bheil ìre corrach TaC 6 tursan nas slaodaiche na SiC ann an ammonia aig teòthachd àrd.Ann an hydrogen aig teòthachd àrd, tha an ìre corrach eadhon còrr is 10 tursan nas slaodaiche na SiC.
Chaidh a dhearbhadh le deuchainnean gu bheil na treallaich còmhdaichte le TaC a’ nochdadh co-chòrdalachd math ann am pròiseas solas gorm GaN MOCVD agus nach eil iad a’ toirt a-steach neo-chunbhalachd.Às deidh beagan atharrachaidhean pròiseas, tha stiùirichean air fàs a’ cleachdadh luchd-giùlan TaC a’ nochdadh an aon choileanadh agus aonachd ri luchd-giùlan àbhaisteach SiC.Mar sin, tha beatha seirbheis màileidean còmhdaichte le TAC nas fheàrr na beatha inc cloiche lom agusSiC còmhdaichtepaileatan grafait.
Ùine puist: Mar-05-2024